1 質(zhì)量范圍：3－280amu
2 質(zhì)量分辨率：多元素分析不同元素可以設置不同的分辨率，在一次分析中分辨率0.3amu－3.0amu連續(xù)可調(diào),。
3 線性動態(tài)范圍：系統(tǒng)的線性動態(tài)范圍至少9個數(shù)量級,，數(shù)據(jù)偏離線性不超過5％。
4 豐度靈敏度：在M＋1處優(yōu)于10⁷,，在M－1處優(yōu)于10⁶,。
5 背景穩(wěn)定性：定義為220amu處背景信號的平均值，低于1cps,。
6 交叉污染與記憶效應：在正常的儀器運行條件下,，絕大部分元素應在30秒內(nèi)清洗使信號降低到原來信號的0.1%以上。
7 多電荷離子：在正常的儀器運行條件下,，Ce⁺⁺的峰強度小于Ce⁺強度的3％,。
8 質(zhì)量校準穩(wěn)定性：小于0.05amu每天，無需使用多點尋峰算法,。
9*穩(wěn)定性：定義為10 µg/L的²⁴Mg,， ⁶³Cu， ¹¹⁴Cd,， ²⁰⁸Pb 混合多元素溶液平均信號的標準偏差,，不加內(nèi)標，每10分鐘測量一次,。 4 小時穩(wěn)定性 <3%RSD
10 數(shù)據(jù)獲?。合到y(tǒng)掃描譜圖的速度為5000amu/s,，為測量ETV,、FIAS和LA等進樣裝置產(chǎn)生的瞬時信號，系統(tǒng)應可以采用單點跳峰測量方式,，每個選定的峰的測量時間可以為100 µs,。 
11 時間分辨數(shù)據(jù)獲取：為監(jiān)測瞬時時間分辨信號,，ICP-MS系統(tǒng)應在1秒內(nèi)完成50個全譜的掃描,。
12 精密度：定義為10 µg/L的²⁴Mg， ⁶³Cu， ¹¹⁴Cd,， ²⁰⁸Pb 混合多元素溶液平均信號的標準偏差,，3秒積分，連續(xù)測定10次,。<3%RSD,。
13 靈敏度、雙電荷離子,、氧化物離子,、背景和檢出限：在同樣一個儀器條件下，¹¹⁵In的靈敏度應在150´10⁶ cps/ppm 以上,，同時Ce⁺⁺的峰強度小于Ce⁺強度的3％,，CeO⁺/Ce⁺的比值應低于3％，220amu處背景信號的平均值應低于1cps,，以每個質(zhì)量數(shù)只測量一個點的單點跳峰方式和3秒的積分時間,，測量空白的標準偏差的3倍進行計算，¹¹⁵In的檢出限應優(yōu)于0.1ppt,。
14同位素比精密度：定義為 25 µg/L的銀溶液中 ¹⁰⁷Ag/¹⁰⁹Ag 的同位素比精密度,，使用單點跳峰方式進行測量。 <0.08% RSD