JSM-6610 掃描電鏡zui基本的功能是對各種固體樣品表面進行高分辨形貌觀察,。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色，應(yīng)用于生物學,、植物學,、地質(zhì)學、冶金學等領(lǐng)域,。觀察可以是一個樣品的表面,，也可以是一個切開的面，或是一個斷面,。冶金學家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面,。可以很方便地研究氧化物表面,，晶體的生長或腐蝕的缺陷,。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品,，自然的或制備過的木頭的細微結(jié)構(gòu),，生物學家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。例如：花粉顆粒,，硅藻和昆蟲,。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應(yīng)的立體感強的照片,。

在JSM-6610 掃描電鏡應(yīng)用中,，很多集中在器件和方面，它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況,，這是因為這種變化會帶來象的反差的變化,。焊接開裂和腐蝕表面的細節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。利用束感生電流,，可以觀測半導(dǎo)體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷,。

電子束與樣品作用區(qū)內(nèi)，還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性質(zhì)有關(guān)信號,。例如：與樣品化學成分分布相關(guān)的,，背散射電子,，特征X射線，俄歇電子,，陰極熒光,，樣品吸收電流等；與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的,，背散射電子衍射現(xiàn)象的探測,；與半導(dǎo)體材料電學性能相關(guān)的，二次電子信號,、電子束感生電流信號,；在觀察薄樣品時產(chǎn)生的透射電子信號等。目前分別有商品化的探測器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室,，用于探測和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信息。

JSM-6610 掃描電鏡對于固體材料的研究應(yīng)用非常廣泛,，沒有任何一種儀器能夠和其相提并論,。對于固體材料全面特征的描述，掃描電鏡是至關(guān)重要的,。

JSM-6610A/JSM-6610LA分析型掃描電子顯微鏡,，與日本電子公司的元素分析儀（EDS）組合于一體,。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標,，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程,。

大樣品室和馬達驅(qū)動樣品臺

樣品室對應(yīng)樣品的直徑可達到200mm,5軸馬達驅(qū)動確保了高效率的樣品移動和觀察。

操作窗口

直觀的操作界面的設(shè)計,，簡明易懂便于迅速掌握操作,。

支持多用戶

單個用戶可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標，營造高效率的操作環(huán)境,。用戶登錄時,，即可加載已注冊過的設(shè)定。

同時顯示兩幅圖像

畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像,?？赏瑫r觀察樣品的形貌和組成分布。

微細結(jié)構(gòu)測量

適合于多種測量功能,?？稍谟^察圖像上直接進行測量。也可將測量結(jié)果貼至SEM圖像,，保存在文件中,。

標準的全對中樣品臺,，能收錄三維照片

3D Sight（選配件），能夠進行平面測量和高度測量,，實現(xiàn)立體俯視圖,。

從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍

分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監(jiān)視器,，一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析（EDS）,。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適,。

維護簡便

工廠預(yù)置中心燈絲,，十分便于更換。因此,，可*保持穩(wěn)定的高性能,。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明,。

可信賴的真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài),。擴散泵內(nèi)部無活動部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定,，維護簡便的特色,。