曝光機
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 鑫有研電子科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2016/4/12 20:45:23
- 訪問次數(shù) 590
產(chǎn)品標(biāo)簽
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URE-2000系列光刻機
型號:17
一. 技術(shù)特征
1、采用多反射鏡實現(xiàn)均勻照明,;
2,、采用球氣浮找平,調(diào)平精度高,;
3,、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準(zhǔn)過程,
2,、采用球氣浮找平,調(diào)平精度高,;
3,、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準(zhǔn)過程,
并提供USB輸出,;既滿足高精度對準(zhǔn),,又可用于檢測曝光結(jié)果,且曝光
結(jié)果和方便存儲,;
4,、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明(曝光面能量5mW/cm ,溫度小于35度)
5,、手動上下版,、樣片,手動調(diào)平,;手動分離間隙,。
6、快門可以單獨開啟,,也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光(設(shè)定范圍0.1s-9999s)
7,、采用200W進口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度,;設(shè)備外形美觀精制
4,、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明(曝光面能量5mW/cm ,溫度小于35度)
5,、手動上下版,、樣片,手動調(diào)平,;手動分離間隙,。
6、快門可以單獨開啟,,也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光(設(shè)定范圍0.1s-9999s)
7,、采用200W進口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度,;設(shè)備外形美觀精制
性能非??煽?/span>
二、主要技術(shù)指標(biāo):
1,、曝光面積:ф100mm,;
2、分辨力: 1.7µm(膠厚2 µm的正膠),;
3,、對準(zhǔn)精度: ±1µm;
4,、掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm,;
5、掩模尺寸:2.5 inch、3 inch,、4 inch,、5 inch;
6,、樣片尺寸:直徑ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm),;
7,、照明均勻性:±6%(ф100mm 范圍);
8,、掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°,;
9、汞燈功率:200W(直流),;
10,、曝光波長:365nml
11、曝光能量密度:6mW/cm (420nm以上波長小于0.2mW/cm )l
12,、曝光方式:定時(到計時方式)
13,、外形尺寸:650mm(長)´600mm(寬)´900mm(高)
1,、曝光面積:ф100mm,;
2、分辨力: 1.7µm(膠厚2 µm的正膠),;
3,、對準(zhǔn)精度: ±1µm;
4,、掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm,;
5、掩模尺寸:2.5 inch、3 inch,、4 inch,、5 inch;
6,、樣片尺寸:直徑ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm),;
7,、照明均勻性:±6%(ф100mm 范圍);
8,、掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°,;
9、汞燈功率:200W(直流),;
10,、曝光波長:365nml
11、曝光能量密度:6mW/cm (420nm以上波長小于0.2mW/cm )l
12,、曝光方式:定時(到計時方式)
13,、外形尺寸:650mm(長)´600mm(寬)´900mm(高)