35 紫外光刻機
| 參考價 | ￥ 250000 |
| 訂貨量 | ≥1 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 鑫有研電子科技有限公司
- 品牌
- 型號 35
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2016/4/7 14:07:52
- 訪問次數(shù) 518
產(chǎn)品標(biāo)簽
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,，謝謝!
URE-2000系列 紫外光刻機
型號：URE-2000/35
簡單介紹：光刻機：（英文名：Mask ALIGENER）又名曝光機, 該型號光刻機創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平,；真空接觸自動曝光；樣片升降,、調(diào)平,、接觸、曝光,、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制,；采用技術(shù)積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙,；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度,。整機具有性能可靠、操作方便,、自動化程度高等特點,。
一．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動型）
和高校教學(xué)科研（可靠性好,，演示方便）
采用技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實現(xiàn)均勻照明,；
1、采用三爪和球氣浮同時找平,，無論大片,、小片調(diào)平精度均高；
2,、具備真空接觸曝光,、硬接觸曝、壓力接觸曝光,，以及接近式曝光四種功能,；
3、自動分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙,，間隙分離可達500μm,；
4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準(zhǔn)過程,，
采用技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實現(xiàn)均勻照明,；
1、采用三爪和球氣浮同時找平,，無論大片,、小片調(diào)平精度均高；
2,、具備真空接觸曝光,、硬接觸曝、壓力接觸曝光,，以及接近式曝光四種功能,；
3、自動分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙,，間隙分離可達500μm,；
4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準(zhǔn)過程,，
并提供USB輸出,；既滿足高精度對準(zhǔn)，又可用于檢測曝光結(jié)果,，且曝光結(jié)果和
方便存儲,；
5、電機機構(gòu),、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好,；
7,、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ,，溫度小于30度）；
8,、對準(zhǔn)完成,，自動消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察,；
9,、快門可以單獨開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999.9s）,；
10,、采用350W進口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度,；
11,、汞燈具有高亮度和“待機”兩種方式，即曝光時采用高亮度照明,，而不曝光
5、電機機構(gòu),、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好,；
7,、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ,，溫度小于30度）；
8,、對準(zhǔn)完成,，自動消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察,；
9,、快門可以單獨開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999.9s）,；
10,、采用350W進口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度,；
11,、汞燈具有高亮度和“待機”兩種方式，即曝光時采用高亮度照明,，而不曝光
時采用低亮度的“待機”,，從而延長了汞燈壽命,。
12、設(shè)備外形美觀精制,，性能非?？煽浚?br />13,、上下片,、版十分方便，自動化程度很高,，操作簡便,。
12、設(shè)備外形美觀精制,，性能非?？煽浚?br />13,、上下片,、版十分方便，自動化程度很高,，操作簡便,。
二．技術(shù)參數(shù)
1、曝光面積：100mm×100mm（可升級6英寸）
2,、分辨力：0.8-1µm（膠厚2mm的正膠）
3,、對準(zhǔn)精度：：±0.8µm
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
5,、掩模尺寸：2.5寸,、3寸、4寸,、5寸
6,、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm（可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片）
7、厚度0.1mm--6mm（可擴展為15mm）
8,、照明均勻性：±3%（Ф100mm范圍）
9,、掩模相對于樣片運動行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：350W（直流）
11,、曝光波長：365nm（進口汞燈）
12,、曝光能量密度：15mW/cm 可以根據(jù)需要增強或調(diào)弱（420nm以上波長小于0.1mW/cm ）
13、曝光方式：定時（到計時方式0.1s—9999.9s）
應(yīng)用領(lǐng)域
集成電路芯片,、電子封裝,、微電子機械系統(tǒng)、微光學(xué)元件,、紅外探測器生物電泳芯片,、激光二極管光刻、光柵光刻,，波導(dǎo)陣列光刻,、液晶顯示聲表器件、平板顯示器,、大尺寸光柵,、碼盤刻劃等
集成電路芯片,、電子封裝,、微電子機械系統(tǒng)、微光學(xué)元件,、紅外探測器生物電泳芯片,、激光二極管光刻、光柵光刻,，波導(dǎo)陣列光刻,、液晶顯示聲表器件、平板顯示器,、大尺寸光柵,、碼盤刻劃等
采購中心
化工儀器網(wǎng)