立式管式電爐組成的CVD系統(tǒng)設(shè)備由沉積溫度控件、沉積反應(yīng)室,、真空控制部件和氣源控制備件等部分組成亦可根據(jù)用戶需要設(shè)計生產(chǎn),，CVD系統(tǒng)除了主要應(yīng)用在碳納米材料制備行業(yè)外，現(xiàn)在正在使用在許多行業(yè),，包括納米電子學(xué),、半導(dǎo)體,、光電工程的研發(fā),、涂料等領(lǐng)域 ,。
立式管式電爐的爐門開啟自動斷電功能,，使爐門打開后自動斷電,。超溫保護功能,，當溫度超過允許設(shè)定值后,，自動斷電及報警,。 漏電保護功能,，當爐體漏電時自動斷電,。以上功能確保了使用的安全性。
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