| 特點 | - 與普通CVD相比較,，其沉積溫度大大降低,，減少了高溫多薄膜損壞
- 可以通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果
- 爐體有兩個溫區(qū),，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度,，兩個溫區(qū)zui大溫差為400℃
- 管式爐zui高工作溫度為1100℃
- 帶有預(yù)熱爐,，zui高溫度為1100℃，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合,。
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雙溫區(qū)滑軌爐
(點擊圖片查看詳細(xì)資料） | - 連續(xù)工作zui高溫度為1100℃
- 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率,，反射率及延長儀器的使用壽命(點擊文字查看詳細(xì)資料）
- 兩個溫控系統(tǒng)獨立控制兩個溫區(qū),，都可設(shè)置30段升降溫程序
- 每個溫區(qū)長度為200mm
- 總溫區(qū)長度：400mm
- 恒溫區(qū)：200mm(兩個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度）
- 兩個溫區(qū)zui大溫差為：400℃
- 爐管材料：高純石英管
- 石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L
- 所需電源: 208 – 240V AC單相
- zui大功率： 4KW
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等離子射頻發(fā)生器
| - 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
- 穩(wěn)定性為：+/-1%
- 射頻電源頻率：13.56 MH, 穩(wěn)定性±0.005%
- zui大反向功率: 200W
- 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半導(dǎo)體, 陰極
- 噪音:<50 dB.
- 冷卻方式：空氣冷卻
- 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz
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預(yù)熱爐 
| - 一款小型單溫區(qū)管式爐，加熱區(qū)為200mm
- zui高溫度: 1100ºC
- 可設(shè)置30段升降溫程序
- 控溫儀表操作視頻
- 氣體通過等離子射頻電源前,，先通過預(yù)熱爐
- 也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中,，氣化后與氣體原料相混合
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防腐型數(shù)顯真空計
| - 測量范圍3.8x10-5 至 1125 Torr
- 當(dāng)氣壓在10mbar以上時，可獨立測量各種氣體,，不必做校正（包括混合氣體）
- 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性
- 信號響應(yīng)時間較短（≤30ms)
- 因為傳感器上鍍有防腐涂層,，所以具有較好的抗腐蝕性
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真空泵和閥 | - 可以從本公司選購以下幾種真空泵
- 如您想獲得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可選國產(chǎn)或進口高真空機組
- 配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件
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電動滑軌 | - 可將電動滑軌安裝在爐體下端,，將爐體滑動,，以達到快速升溫和快速降溫的效果
- 滑動速度：0-70 mm/s（可調(diào)）
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升溫和降溫速率 
| - RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含,，客戶需額外出費用在本公司購買）
- 為了獲得zui大的升溫速率,，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置
加熱速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C); 7°C/sec (250°C - 350°C); 4°C/sec (350°C - 500°C); 3°C/sec (350°C - 550°C); 2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0.5°C/sec (800°C - 1000°C); | 冷卻速率: 15°C/sec (1000 - 950°C); 10°C/sec (950°C - 900°C); 7°C/sec (900°C - 850°C); 4°C/sec (850°C - 750°C); 2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C); |
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可選 | 可以選購2-4通道質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng)（精度1.5%）   
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外形尺寸 | - 爐體: 550 x 380 x 520 mm
- 滑軌長度：1750 mm
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| 凈重 | 220 Lbs. |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,，終生維護（不包括爐管,、密封圈和加熱元件） |
| 質(zhì)量認(rèn)證 |  CE Certified |
| 使用注意事項： | - 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
- 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時,，氣瓶上必須安裝減壓閥,，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
- 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
- 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
- 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
- 對于樣品加熱的實驗,，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂,，法蘭飛出等）
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