1,、多工位回轉(zhuǎn)爐CVD爐 爐門開(kāi)啟自動(dòng)斷電功能,,使?fàn)t門打開(kāi)后自動(dòng)斷電。
2,、多工位回轉(zhuǎn)爐CVD爐 超溫保護(hù)功能,,當(dāng)溫度超過(guò)允許設(shè)定值后,,自動(dòng)斷電及報(bào)警,。
3,、多工位回轉(zhuǎn)爐CVD爐 漏電保護(hù)功能,當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電,。以上功能確保了使用的安全性,。
1,、真空氣氛爐多工位回轉(zhuǎn)爐CVD爐 電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),,具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制,、自整定功能,,并可編制各種升降溫程序。速激活爐 粉體電爐 快速熱氧化爐 管式電爐 立式電爐 箱式電爐
2,、真空氣氛爐 國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫,,進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編程40段程序控溫。
3,、真空管式爐內(nèi)配置有485轉(zhuǎn)換接口,,可實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)相互連接。通過(guò)的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)來(lái)完成與單臺(tái)或多達(dá)200臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制,、實(shí)時(shí)追蹤,、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能,。
五,、真空氣氛爐周邊拓展性該電爐可配置;
1、真空管式爐真空控制系統(tǒng),。通過(guò)各種真空控制系統(tǒng),,可以實(shí)現(xiàn)樣品在低、中,、高真空環(huán)境下進(jìn)行試驗(yàn),。 真空氣氛 旋轉(zhuǎn)電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐
2、氣體流量控制系統(tǒng),。通過(guò)浮子或質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)進(jìn)氣量,,以滿足用戶在不同反應(yīng)氣氛或保護(hù)氣氛條件下的實(shí)驗(yàn)要求。
六,、真空氣氛爐設(shè)計(jì)*性;
設(shè)備為產(chǎn)品,,具有多項(xiàng)獨(dú)立自主的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。外觀美觀,,結(jié)構(gòu)合理,,使用方便。真空氣氛 旋轉(zhuǎn)電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐 CVD電爐 RTP電爐CVD爐