EBARA荏原高負載工藝用干式泵EV-M202N
EBARA荏原高負載工藝用干式泵EV-M202N
產(chǎn)品介紹
EBARA 高溫技術支持在半導體,、液晶和太陽能電池制造過程中產(chǎn)生反應副產(chǎn)物的高負荷工藝。由于其高節(jié)能性能，能夠支持高負載流程，同時節(jié)省能源。另有排量110,000L/min的大排量型號,，標配耐腐蝕材料。憑借針對工藝條件量身定制的豐富產(chǎn)品陣容，我們可以應對各種高負載工藝,。
EV-M型
干式真空泵非常適合節(jié)能和高負載工藝
兼容高負載流程
兼容高溫控制
節(jié)能
耐腐食性材料標準采用
耐腐蝕性改進選項
不同頻率 (50/60Hz) 下具有相同的性能
無油
提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 兼容
| 模型 | 單元 | 電動車M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 抽速 | 升/分鐘 | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 5萬 | 5萬 | 8萬 | 8萬 | 110,000 | |
| 極限壓力 | 出色地 | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 連接直徑 | 進氣口 | 西北40 | 感光度100 | 感光度100 | 感光度100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 排氣口 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | ||
| 極限壓力下的近似功率值 | 千瓦 | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | ℃ | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
| 氮氣 | 流量 | 帕•立方米/秒 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V型號 | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | |
| 400V型號 | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | - | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | ||
| 電源容量 | 千伏安 | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 概略質(zhì)量 | 公斤 | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | ||||
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