渦輪分子泵由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成,。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi),，附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離,。 然而，由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn),，分子飛入下一層,，并且容易穿過(guò)定子葉片再向下。 同時(shí),，從下層飛入并通過(guò)固定葉片后逆行的氣體分子,，也能通過(guò)與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是,，上層的氣體分子容易通過(guò)(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度,，而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域,，渦輪分子泵是通過(guò)該轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片發(fā)揮基本性能,。

本公司在轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組合基礎(chǔ)上增加了“螺紋槽”構(gòu)造。被壓縮到圓筒狀的旋轉(zhuǎn)部（轉(zhuǎn)子）的壁面的氣體分子,，最終沿著固定部分（定子）的螺紋槽,，移到泵的排氣口一側(cè)。 由于螺紋槽的作用,，渦輪分子泵(復(fù)合分子泵)不僅在分子流域,，在粘滯流也能排氣，尤其在粘滯流時(shí)可以大流量排氣,。 因此,，渦輪分子泵的適用壓力范圍被擴(kuò)展，得到了很多用途的廣泛應(yīng)用,。此外,，由于可以在高背壓下運(yùn)轉(zhuǎn),，也有可能使用更小的、壓力更高的輔助泵,。

無(wú)油的超真空環(huán)境

?機(jī)械式的氣體分子排氣(動(dòng)態(tài)排氣),對(duì)所有的氣體的排氣速度大致相同

?可排稀有氣體和腐蝕性氣體

?可連續(xù)排大流量氣體

?可工作的壓力范圍寬,。 (～10-10Pa）.

復(fù)合分子泵TG-F系列

使用了脂潤(rùn)滑陶瓷軸承，實(shí)現(xiàn)了小型,、輕量,、低成本。 耐外部震動(dòng),，耐沖擊能力強(qiáng),，可以把分子泵搭載到可搬式設(shè)備或設(shè)備的可動(dòng)部，拓展了渦輪分子泵的新應(yīng)用,。提供排氣速度50L/s ～ 2400L/s的產(chǎn)品,。

• 多方位安裝

• 輕巧設(shè)計(jì)

• 節(jié)能

• 迅速啟動(dòng)

• 使用破控功能可迅速停止

• 耐大氣沖擊能力強(qiáng)

• 多種通信模式

• 符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

  產(chǎn)品規(guī)格：

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  產(chǎn)品尺寸圖：

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