橢偏振動(dòng)光譜

利用紅外光譜中分子振動(dòng)模的吸收帶,，可以分析薄膜的組成,。此外,，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測(cè)量,。

傅立葉紅外光譜儀FTIR適用

集成賽默飛世爾Thermo Fisher制造的型號(hào)FTIR iS50紅外光譜儀。它也適用于一般的振動(dòng)光譜,。

光譜橢偏儀SENDIRA用于測(cè)量薄膜厚度,，折射率,，消光系數(shù)以及體材料,，單層和多層堆疊膜的相關(guān)特性。特別是覆蓋層下面的層在可見(jiàn)范圍內(nèi)是不透明的,，現(xiàn)在也可以進(jìn)行測(cè)量,。同時(shí)可以分析材料的組成和大分子基團(tuán)和分子鏈的走向。

SENTECH光譜橢偏儀SENDIRA是專門為紅外應(yīng)用(FTIR)設(shè)計(jì)的,。緊湊型測(cè)量臺(tái)包括橢圓儀光學(xué)部件,，計(jì)算機(jī)控制角度計(jì)，水平樣品臺(tái),，自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡,，商用FTIR和DTGS或MCT探測(cè)器。FTIR在400?cm-1 ～6,000?cm-1 (1.7?µm?–?25?µm)光譜范圍內(nèi)提供了的精度和分辨率,。

光譜橢偏儀SENDIRA主要用于薄層的振動(dòng)光譜分析,。應(yīng)用范圍從介質(zhì)膜、TCO、半導(dǎo)體膜到有機(jī)膜層,。SENDIRA是由SpectraRay/4 軟件操作,，另外還提供了FTIR軟件。