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歐陸2604控制器在分子外延(MBE)設(shè)備上的應(yīng)用 |
設(shè)備現(xiàn)狀用改造方案簡述: 原美國MBE設(shè)備中的溫控表型號為歐陸的905D,,由于該型號的表歐陸公司已經(jīng)停產(chǎn),,而且維修費(fèi)用較高甚至不能維修;所以此方案考慮用歐陸的2604*替換原905D,,用一臺(tái)新的計(jì)算機(jī)替換原計(jì)算機(jī),,在新計(jì)算機(jī)上安裝Windows2000操作系統(tǒng),在新計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)原905D的溫度控制編程功能,。改造后還可保留原設(shè)備,,以備在新設(shè)備出現(xiàn)問題時(shí)還可用原來的設(shè)備*替換。 1. 改造工程包括以下各項(xiàng): 1.1 用歐陸2604替換原905D溫控表,,共6塊,,每塊2604帶雙回路PID控制。 1.2 增加一臺(tái)工業(yè)計(jì)算機(jī),,用于對新增加溫控表2604的溫度控制和原系統(tǒng)中7路擋板的控制,。 1.3 對原905D溫控表控制盒進(jìn)行改裝,完成新老表的更換,,增加必要通訊連接器,,完成新2604溫度控制系統(tǒng)的要求并對適應(yīng)新上位系統(tǒng)的通訊要求。 1.4 在2604上進(jìn)行組態(tài)設(shè)置,,實(shí)現(xiàn)溫控回路的控制,,實(shí)現(xiàn)對應(yīng)聯(lián)鎖動(dòng)作的控制,保持原系統(tǒng)的保護(hù)要求,。 1.5 真空度的interlock進(jìn)每個(gè)2604的DI板,,每個(gè)溫控回路在interlock動(dòng)作時(shí)進(jìn)行強(qiáng)制125℃的給定。 1.6 對原擋板控制盒進(jìn)行改裝,,必要時(shí)新舊系統(tǒng)能進(jìn)行切換操作,。 1.7 對各新加溫控表和新加工控機(jī)進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)聯(lián)結(jié),實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場總線控制,。 1.8 在新增工控機(jī)上進(jìn)行組態(tài)編程,,實(shí)現(xiàn)對2604的自動(dòng)及手動(dòng)操作,實(shí)現(xiàn)對各擋板的手自動(dòng)操作,。 1.9 完成必要的電氣線路改造,,適應(yīng)新的系統(tǒng)要求。 2. 改造后實(shí)現(xiàn)功能 2.1 由2604代替原905D,,實(shí)現(xiàn)溫度控制,。 2.2 在新工控機(jī)上代替原計(jì)算機(jī)完成順序控制程序的輸入。 2.3 程序控制功能和原有功能相同,,編程界面和簡便性與原有編程界面相當(dāng),。 2.4 擋板控制及動(dòng)作聯(lián)鎖在工控機(jī)上實(shí)現(xiàn),。 2.5 真空聯(lián)鎖信號既進(jìn)2604做聯(lián)鎖也進(jìn)工控機(jī)做擋板動(dòng)作的聯(lián)鎖。 2.6 在上位機(jī)里對每塊2604進(jìn)行通訊狀態(tài)檢查,,如果通訊失敗在上位做報(bào)警,。 2.7 對2604的每個(gè)溫度做歷史記錄查詢功能。 |
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