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中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（以下簡稱 “公司”）創(chuàng)建于1958年,，公司總部位于遼寧省沈陽市渾南區(qū),，占地面積110畝,，建筑面積3.5萬平方米,。多年來,，公司專注于高真空,、超高真空,、超潔凈真空技術(shù)的研究和發(fā)展,，是我國集成電路裝備和真空儀器設(shè)備的研制,、生產(chǎn)基地,，先后組建“國家分子束外延技術(shù)開發(fā)實(shí)驗基地”、“國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心”和“真空技術(shù)裝備國家工程研究中心” 等科研平臺,。