集團(tuán)的核心業(yè)務(wù)是光刻解決方案和晶圓片鍵合,。光刻部門主要負(fù)責(zé)生產(chǎn)高精度光刻設(shè)備,,其重點(diǎn)業(yè)務(wù)是光刻機(jī),、旋涂機(jī)和噴膠機(jī),。鍵合部門專注于生產(chǎn)大規(guī)模封裝市場(chǎng)用鍵合機(jī),同時(shí)也提供手動(dòng)設(shè)備,。光掩模設(shè)備部門提供一系列用于光掩模和壓印掩模工藝的設(shè)備及解決方案,。 此外還提供一些專用配件,如納米壓印光刻組件,、光學(xué)透鏡等,。
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