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【掃描鏡】無萬向節(jié)MEMS掃描鏡（Mirrorcle）,。光學(xué)掃描鏡是一種矢量掃描設(shè)備,，能使入射光束按照特定的方式與時間順序發(fā)生反射，從而在像面上實現(xiàn)掃描成像.傳統(tǒng)的光學(xué)掃描鏡體積大,、成本高,，且多為散裝，大大限制了其應(yīng)用,。相較于傳統(tǒng)的掃描鏡,，MEMS掃描鏡具有尺寸小、成本低,、掃描頻率高,、響應(yīng)速度快和功耗低等優(yōu)點，以被廣泛的應(yīng)用在光通信,、掃描成像,、激光雷達(dá)、內(nèi)窺鏡,、3D掃描成像等領(lǐng)域,。