塵埃粒子計(jì)數(shù)器性能參數(shù)的測量方法

取樣體積

取樣體積測量主要包含塵埃粒子計(jì)數(shù)器內(nèi)置流量計(jì)流量誤 差以及計(jì)時(shí)器計(jì)時(shí)誤

差。流量誤差需要在10000級(jí)的潔凈室進(jìn)行,，由于流量計(jì)的測量結(jié)果與測量環(huán)境有

關(guān),，因此測量前需記錄測量時(shí)的溫度、濕度以及大氣壓力,。流量誤差測量是將標(biāo)準(zhǔn)

流量計(jì)接到塵埃粒子計(jì)數(shù)器的采樣口,，標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)相對誤差應(yīng)不超過±1.5%，塵埃

粒子計(jì)數(shù)器顯示結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)測試結(jié)果比較從而得到流量誤差,。計(jì)時(shí)器計(jì)時(shí)誤

差是將塵埃粒子計(jì)數(shù)器測試結(jié)果與秒表測試結(jié)果比較得到的,，秒表分度值至少為

0.01s。

塵埃粒子計(jì)數(shù)器流量誤差應(yīng)不超過±5%,，計(jì)時(shí)誤差應(yīng)不超過±1%,。

尺寸校準(zhǔn)

尺寸校準(zhǔn)時(shí)，根據(jù)塵埃粒子計(jì)數(shù)器測量范圍將單一尺寸的 標(biāo)準(zhǔn)乳膠球顆粒懸浮于

潔凈干燥的空氣中,，濃度約為zui大飽和濃度的10%左右,，讓塵埃粒子計(jì)數(shù)器實(shí)測，

同時(shí)采用示波器或脈沖高度分析儀監(jiān)測儀器的輸出信號(hào)，示波器或脈沖高度分析儀

監(jiān)測儀器顯示的中值電壓即為塵埃粒子計(jì)數(shù)器所選粒徑檔相應(yīng)尺寸對應(yīng)的閾值電

壓,。

根據(jù)塵埃粒子計(jì)數(shù)器測量范圍至少選取3種單一尺寸的標(biāo)準(zhǔn)乳膠球顆粒,，得到所選

粒徑檔相應(yīng)尺寸對應(yīng)的閾值電壓，并根據(jù)廠商推薦的計(jì)算公式,，計(jì)算其他粒徑檔相

應(yīng)尺寸對應(yīng)的閾值電壓,。

偽計(jì)數(shù)

JJF1190-2008是采用自凈時(shí)間來對偽計(jì)數(shù)進(jìn)行考核的。塵 埃粒子計(jì)數(shù)器先對實(shí)驗(yàn)

室環(huán)境測量1min后,，將塵埃粒子計(jì)數(shù)器采樣口接過濾器,，使塵埃粒子計(jì)數(shù)器處

于自凈狀態(tài)，開始計(jì)時(shí),，連續(xù)進(jìn)行計(jì)時(shí),，塵埃粒子計(jì)數(shù)器連續(xù)三次測量結(jié)果為零時(shí)

停止計(jì)時(shí)，從儀器開始自凈到停止計(jì)時(shí)之間的時(shí)間為自凈時(shí)間,，自凈時(shí)間要求不大

于10min,。

標(biāo)準(zhǔn)是自凈1h后，連續(xù)測量20min以上,，15min內(nèi)塵埃粒子計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)結(jié)果為

0,，25min內(nèi)塵埃粒子計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)結(jié)果不能超過1個(gè)，50min內(nèi)塵埃粒子計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)結(jié)

果不能超過4.6個(gè),。

zui大飽和濃度

塵埃粒子計(jì)數(shù)器在測量時(shí),，由于傳感區(qū)重合效應(yīng)的存在， 隨著顆粒數(shù)量的增加,，

儀器檢測到的顆粒數(shù)量將會(huì)小于實(shí)際的顆粒數(shù)量,，并隨顆粒數(shù)量的增多而誤差增

加。測量方法是根據(jù)塵埃粒子計(jì)數(shù)器測量范圍選擇與zui小粒徑檔相應(yīng)尺寸相同的單

分散球形顆粒,，根據(jù)廠商給出的參考zui大飽和濃度采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形

顆粒,，采用塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行計(jì)數(shù)，然后調(diào)節(jié)稀釋流量為原來流量的 1 /2 ,，同

時(shí)采用塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行計(jì)數(shù)測試結(jié)果應(yīng)為原來測試結(jié)果的50%±10%,，如果大于

60%則廠商給出的參考zui大飽和濃度過高則降低顆粒數(shù)量濃度直至滿足50%±10%的

要求。此時(shí)測量的顆粒數(shù)量濃度即為塵埃粒子計(jì)數(shù)器的zui大飽和濃度,。

計(jì)數(shù)響應(yīng)

當(dāng)塵埃粒子計(jì)數(shù)器使用的時(shí)間過長,，一些顆粒可能會(huì)在傳 感器中形成沉積物,，影

響下一次測量結(jié)果,。計(jì)數(shù)響應(yīng)測量方法根據(jù)塵埃粒子計(jì)數(shù)器測量范圍選擇與zui小粒

徑檔相應(yīng)尺寸相同的單分散球形顆粒，采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形顆粒使其濃

度接近zui大飽和濃度,，使用塵埃粒子計(jì)數(shù)器連續(xù)測量10次,，取zui后一次測試結(jié)果,，

在塵埃粒子計(jì)數(shù)器采樣口接過濾器測試10s后，檢測粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球

形顆粒取*次測試結(jié)果,，兩次測試結(jié)果進(jìn)行比較,，誤差應(yīng)在±10%之內(nèi)。

分辨率

在實(shí)測分辨率時(shí),，可采用單分散的標(biāo)準(zhǔn)乳膠球顆粒,，顆粒尺寸為塵埃粒子計(jì)數(shù)器zui

小粒徑檔對應(yīng)尺寸的2倍，采用粒子發(fā)生器發(fā)生,，粒子為zui大飽和濃度10%,，根據(jù)塵

埃粒子計(jì)數(shù)器尺寸校準(zhǔn)曲線計(jì)算出標(biāo)準(zhǔn)偏差，

計(jì)數(shù)效率

隨著顆粒尺寸的減小,，計(jì)數(shù)效率會(huì)逐漸降低,，因此需對zui 小粒徑檔計(jì)數(shù)結(jié)果進(jìn)行

考核。計(jì)數(shù)效率測量方法是根據(jù)塵埃粒子計(jì)數(shù)器測量范圍選擇與zui小粒徑檔相應(yīng)尺

寸相同的單分散球形顆粒,，采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形顆粒,，使其濃度約為zui

大飽和濃度的25%，采用參考粒子計(jì)數(shù)器與待檢塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)檢測,，參考粒

子計(jì)數(shù)器可測量的zui小顆粒尺寸應(yīng)小于待檢塵埃粒子計(jì)數(shù)器可測量的zui小顆粒尺

寸，參考粒子計(jì)數(shù)器可選用CPC（凝聚核粒子計(jì)數(shù)器）或塵埃粒子計(jì)數(shù)器,，但它的

計(jì)數(shù)效率應(yīng)小于5%,，待檢塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測結(jié)果與參考粒子計(jì)數(shù)器檢測結(jié)果比值

應(yīng)在30%～70%。選擇zui小粒徑檔相應(yīng)尺寸的1.5～2倍的單分散球形顆粒,，采用粒子

發(fā)生器發(fā)生單 分散球形顆粒使其濃度約為zui大飽和濃度的25%,，待檢塵埃粒子計(jì)數(shù)

器檢測結(jié)果與參考粒子計(jì)數(shù)器檢測結(jié)果比值應(yīng)在90%～110%。