一,、用途:
BMT700研究型硅片顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察,。本儀器配有大移動范圍的載物臺,、落射照明器,、長工作距離的平場消色差物鏡,、大視野目鏡,,圖像清晰,、襯度好,,同時配有偏光裝置,,及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有無限物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕,、崩邊等;還可以對硅片的雜質,、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質,、無機雜質,、金屬離子、硅粉粉塵等,,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花,、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象,,使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中*的檢測儀器之一.
二,、BMT700研究型硅片顯微鏡技術參數(shù):
1、目鏡
類 別 | 放大倍數(shù) | 視場(mm) |
大視野目鏡 | 10X | φ22 |
2,、物鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑NA | 工作距離(mm) |
無限遠長工作距離平場消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 26.1 |
10X | 0.25 | 20.2 | |
40X | 0.60 | 3.98 | |
60X | 0.70 | 3.18 |
3,、光學放大倍數(shù):50X -- 600X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù):50X-3500X
4、濾色片組:黃色,、藍色,、綠色、磨砂玻璃
5、偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6,、載物臺:二層機械移動式:尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7,、粗微同軸調焦機構,微動手輪格值:0.002mm
8,、落射照明器:鹵素燈,,亮度可調;透射光源6V30W鹵素燈,加裝散熱片,。
9,、防霉:*的防霉系統(tǒng)
三、BMT700研究型硅片顯微鏡適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察,。本儀器配有大移動范圍的載物臺,、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡,、大視野目鏡,,圖像清晰、襯度好,,同時配有偏光裝置,,及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有無限物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。
四,、總放大參考倍數(shù):
50--4000倍 (17寸顯示器為例)
五,、系統(tǒng)組成:
1、顯微鏡
2,、適配鏡
3,、500萬高像素攝像頭
4、計算機(選配)
六,、選購件:
1,、二維測量軟件
2、目鏡: 20X 10X(帶刻度)
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