隨著歐盟RoHSzui后期限的臨近,，很多公司都開始采用無鉛化工藝,，但要確保工藝的一致性，有效的檢測方法是必*,，熒光光譜分析法（XRF）就是其中之一,。許多晶圓制造廠已開始用XRF法在薄鍍層上進(jìn)行無危害性成分測量，而且還用它探測擴(kuò)散阻擋層裂口,。

RoHS禁令簡介

RoHS是Lang;電氣,、電子設(shè)備中限制使用某些有害物質(zhì)指令⟫（the Restriction ofthe use of certain hazardous substances in electrical andelectronicequipment）的英文縮寫，主要限制電子產(chǎn)品中的鉛Pb,、鎘Cd,、汞Hg、六價(jià)鉻Cr（VI）,、多溴聯(lián)苯PBBs,、多溴聯(lián)苯醚PBDEs六種有害物質(zhì)含量。產(chǎn)品中各物質(zhì)的zui大容許含量（閾值）分別為：Cd為100×10-6,，Pb,、Hg、Cr（VI）,、PBB和PBDE為1000×10-6,。該指令由歐洲議會(huì)及理事會(huì)提出，歐盟成員國將于2006年7月1日起強(qiáng)制實(shí)施,。

我國也在制定相應(yīng)的法規(guī),，Lang;中國電子信息產(chǎn)品污染防治管理辦法（征求意見稿）⟫ 第 11條就明確指出：生產(chǎn)者應(yīng)當(dāng)采取措施逐步減少并淘汰電子信息產(chǎn)品中鉛、汞,、鎘,、六價(jià)鉻、聚合溴化聯(lián)苯（PBB）,、聚合溴化聯(lián)苯乙醚（PBDE）及其他有毒有害物質(zhì)的含量,；對(duì)于不能*淘汰的，其有毒有害物質(zhì)含量不得超過國家標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定,。

熒光光譜分析法（XRF）

熒光光譜分析法（XRF）就是利用原子熒光譜線的波長和強(qiáng)度進(jìn)行物質(zhì)的定性與定量分析的方法,。因?yàn)樵谝欢▽?shí)驗(yàn)條件下，被測元素的濃度與熒光強(qiáng)度成正比,，因而可據(jù)此對(duì)RoHS六種有害物質(zhì)進(jìn)行定量分析,。

原子熒光光譜儀分為色散型和非色散型兩類，兩類儀器的結(jié)構(gòu)基本相似,，差別在于非色散儀器不用單色器,。色散型光譜儀由輻射光源,、單色器、原子化器,、檢測器,、顯示和記錄裝置組成。輻射光源用來激發(fā)原子使其產(chǎn)生原子熒光,，可使用連續(xù)光源或銳線光源,，常用的連續(xù)光源是氙弧燈，而可用的銳線光源有高強(qiáng)度空心陰極燈,、無極放電燈及可控溫度梯度原子光譜燈和激光,；單色器用來選擇所需的熒光譜線，排除其他光譜線的干擾,；原子化器用來將被測元素轉(zhuǎn)化為原子蒸氣,，分為火焰、電熱和電感耦合等類型,；檢測器用來檢測光信號(hào)并轉(zhuǎn)換為電信號(hào),，常用的檢測器是光電倍增管；顯示和記錄裝置則用來顯示和記錄測量結(jié)果,，包括了電表,、數(shù)字表、記錄儀等,。

原子熒光光譜分析法具有設(shè)備簡單,、靈敏度高、光譜干擾少,，工作曲線線性范圍寬,，可以進(jìn)行多元素測定等優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)用廣泛,。RoHS一致性熒光屏檢查流程如圖1所示,。

對(duì)XRF而言，可不考慮被測物的化學(xué)焊接狀況直接鑒定原子,，這使XRF特別適用于檢查鎘,、鉛和汞等物質(zhì)。XRF分析法能夠檢查鉻,，只是不能區(qū)別有毒的六價(jià)形態(tài)和別的鉻形態(tài),。如果樣品中總的鉻含量低于對(duì)六價(jià)鉻含量的限定范圍，就表明有毒等級(jí)較低,，如果不存在此狀況,，就需要進(jìn)行有害性化學(xué)分析。XRF還能夠檢測有溴原子的樣品,，因此多溴聯(lián)二苯（PBB）和多溴聯(lián)二苯醚（PBDE）的檢查也將遵循同樣的規(guī)則,，如果PBB和PBDE中的溴等級(jí)都低于限定值范圍的話,，就可判定其具有一致性。照明工程師社區(qū)q;sb（XPY2^1sb3h t

/D!Hez a`在半導(dǎo)體和電子行業(yè)有十幾家公司提供X射線測量設(shè)備,。在這些公司中，目前為RoHS一致性測試提供XRF設(shè)備的公司包括：Hepco,、 Horiba Jobin Yvon ,、Innov-X Systems 、 Niton 和 Oxford Instruments,。

r檢測程序,、方法、設(shè)備與確證結(jié)

RoHS在工藝過程中主要的存在形式有：溫控器,、傳感器和繼電器中的汞,；焊料、CRT玻璃和燈泡中的鉛,；開關(guān),、彈簧、連接器,、外殼和PCB中的鎘,；金屬防腐蝕涂層中的六價(jià)鉻；PCB,、連接器,、塑料外殼中的多溴聯(lián)苯和PBB阻燃劑；PCB,、連接器,、塑料外殼中的多溴二苯醚和PBDE阻燃劑。

工藝中的檢測程序包括：樣品拆分,、篩選測試,、確證檢測、符合性評(píng)價(jià),。

樣品拆分：電子產(chǎn)品的成品和半成品由多種材料組成,，首先必須進(jìn)行拆解，直至得到無法進(jìn)一步機(jī)械拆解的zui小均質(zhì)材料檢測單元,。

材料分類：電子電氣產(chǎn)品及部件的材料分類如下：

聚合物類：塑料,、橡膠、泡棉等,；

金屬類：金屬板材,、支架等；

電子元器件類：線路板,、電阻,、電容等,；

其他類：添加劑、涂料,、顏料,、絕緣漆、玻璃,、搪瓷,、膠木、墨水,、瓷等,。