真空概念及真空常用計算公式

1,、真空的定義 
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)

2,、真空度 
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示,。真空度高表示真空度“好”的意思,，真空度低表示真空度“差”的意思,。

3、真空度單位 
通常用托（Torr）為單位,，近年上取用帕（Pa）作為單位,。
1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱

4、托與帕的轉(zhuǎn)換 
1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托

5,、平均自由程 
作無規(guī)則熱運(yùn)動的氣體粒子,，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示,。

6,、流量 
單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示,，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）,。

7、流導(dǎo) 
表示真空管道通過氣體的能力,。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下,，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差,。
符號記作“U”。 　　U＝Q/(P2- P1)

8,、壓力或壓強(qiáng) 
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,，用“P”表示。

9,、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 
壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,，符號：（Atm）。

10,、極限真空 
真空容器經(jīng)充分抽氣后,，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空,。通常真空容器須經(jīng)12小時煉氣,，再經(jīng)12小時抽真空，zui后一個小時每隔10分鐘測量一次,，取其10次的平均值為極限真空值,。

11、抽氣速率 
在一定的壓強(qiáng)和溫度下,，單位時間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,，簡稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

12,、熱偶真空計 
利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān),，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計,。

13、電離真空計（又收熱陰極電離計） 
由筒狀收集極,，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,，離子被收集極收集,，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計。

14,、復(fù)合真空計 
由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成,，測量范圍從大氣~10-5Pa。

15,、冷陰極電離計 
陽極筒的兩端有一對陰極板,，在外加磁場作用，陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強(qiáng)的真空計,。

16、電阻真空計 
利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,，通過電橋電路來測量真空度的真空計。

17,、麥克勞真空計（壓縮式真空計） 
將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積,，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種真空計,。

18,、B－A規(guī) 
這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲,，放在柵網(wǎng)中心,，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響,，延伸測量下限,，可測超高真空。

19,、水環(huán)真空泵 
泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán),。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。

20,、往復(fù)真空泵 
利用活塞的往復(fù)運(yùn)動而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵,。

21、油封機(jī)械真空泵 
用油來保持密封的機(jī)械真空泵，可分為定片式,、旋片式,、滑閥式、余擺線式等,。

22,、羅茨真空泵 
具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨(dú)抽氣,，前級需配油封,、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。

23,、渦輪分子真空泵 
有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪,，當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時就被驅(qū)向出氣口再由前級泵抽除。

24,、油擴(kuò)散真空泵 
擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流,。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散,，并被蒸汽帶向泵出口處逐級被壓縮后再由前級泵排除

25,、低溫真空泵 
利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。

26,、冷阱（水冷擋板） 
置于真空容器和泵之間,，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

27,、氣鎮(zhèn)閥 
油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥,，當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量,，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥,。

28、真空冷凍干燥 
真空冷凍干燥,，也稱升華干燥,。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊,，然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的,。

29、真空蒸鍍 
在真空環(huán)境中,，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,，或叫真空鍍膜。

30、真空干燥 
利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法,。

31,、真空系統(tǒng)常用名稱 
　(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵,。
　(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強(qiáng)低于其臨界前級壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵,。
　(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣,，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,，就是粗油泵,。
　(4)維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時,，不能有效地利用前級泵,。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵,。如擴(kuò)散泵出口處配一臺小型旋片泵,，就是維持泵。

真空計算公式

1,、玻義爾定律
體積V,，壓強(qiáng)P，P·V＝常數(shù)
一定質(zhì)量的氣體,，當(dāng)溫度不變時,，氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。
即P1/P2＝V2/V1

2,、蓋·呂薩克定律
當(dāng)壓強(qiáng)P不變時,，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與溫度T成正比：
V1/V2＝T1/T2＝常數(shù)
當(dāng)壓強(qiáng)不變時,，一定質(zhì)量的氣體,，溫度每升高(或P降低)1℃，則它的體積比原來增加(或縮小)1/273,。

3,、查理定律
當(dāng)氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體,，壓強(qiáng)P與其溫度T成正比,，即：
P1/P2＝T1/T2
在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體,，溫度每升高(或降低)1℃,，它的壓強(qiáng)比原來增加(或減少)1/273。

4、平均自由程：
λ＝(5×10-3)/P (cm)

5,、抽速：
S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P
Q＝流量(托·升/秒) P＝壓強(qiáng)(托)　　V＝體積(升) t＝時間(秒)

6,、通導(dǎo)：
C＝Q/(P2-P1) (升/秒)

7、真空抽氣時間：
對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式：
t＝8V/S (經(jīng)驗公式)
V為體積,，S為抽氣速率,，通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。

8,、維持泵選擇：
S維＝S前/10

9,、擴(kuò)散泵抽速估算：

S＝3D2 (D＝直徑cm）
10、羅茨泵的前級抽速：
S＝(0.1~0.2)S羅 (l/s)

11,、漏率：
Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1)
Q漏－系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s)
V－系統(tǒng)容積(l)
P1－真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)
P2－真空室經(jīng)過時間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)
t－壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時間(s)

12,、粗抽泵的抽速選擇：
S＝Q1/P預(yù) (l/s)
S=2.3V·lg(Pa/P預(yù))/t
S－機(jī)械泵有效抽速
Q1－真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)
P預(yù)－需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)
V－真空系統(tǒng)容積(升)
t－達(dá)到P預(yù)時所需要的時間
Pa－大氣壓值(托）

13、前級泵抽速選擇：
排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵,、油增壓泵,、羅茨泵、渦輪分子泵等,，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,，選用的前級泵必須能將主泵的zui大氣體量排走，根據(jù)管路中,，各截面流量恒等的原則有：
PnSg≥PgS 或
Sg≥Pgs/Pn
Sg－前級泵的有效抽速(l/s)
Pn－主泵臨界前級壓強(qiáng)(zui大排氣壓強(qiáng))(l/s)
Pg－真空室zui高工作壓強(qiáng)(托)
S－主泵工作時在Pg時的有效抽速,。(l/s)

14、擴(kuò)散泵抽速計算公式：
S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒)
式中：S－被試泵的抽氣速率(l/s)
n－滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)
t－油柱上升n格所需要的時間(秒)
P－在泵口附近測得的壓強(qiáng)(托)
K－滴管系數(shù)(托·升/秒)
K＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt
其中V0－滴管和真空膠管的原始容積(升)
L－滴管刻度部分的長度(mm)
n－滴管刻度部分的格數(shù)(格)
Υ0－油的比重(克/厘米3)
Υm－汞的比重(克/厘米3)
Pa－當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)
△Vt－滴管的刻度上的一格的對應(yīng)的容積(升/格)

15,、旋片真空泵的幾何抽速計算公式：
S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)
式中：Z為旋片數(shù),，n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)，L為泵腔長度,，D為泵腔直徑,，d為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95％),。

16、O型橡膠槽深B＝0.7D
D為橡膠直徑,，槽寬C＝1.6B

17,、方形橡膠槽深B＝0.8A
A為方形橡膠邊長，槽寬C＝1.67B