成像掃描原理
簡單的說,，成像掃描原理是采用透射光生成信號：兩個具有相同或相近柵距的光柵尺光柵和掃描掩膜彼此相對運動,。掃描掩膜的基體是透明的，而作為測量基準的光柵尺可以是透明的也可以是反射的,。
當平行光穿過一個光柵時,，在一定距離處形成明/暗區(qū)，掃描掩膜就在這個位置處,。當兩個光柵相對運動時,，穿過光柵尺的光得到調(diào)制。如果狹縫對齊,，則光線穿過,。如果一個光柵的刻線與另一個光柵的狹縫對齊，光線無法通過,。一組規(guī)則排列的光電池將這些光強變化轉化成電信號,。特殊結構的掃描掩膜將光強調(diào)制為近正弦輸出信號。柵距越小,，掃描掩膜和光柵尺間的間距越小，公差越嚴,。MT 60和MT 100系列的海德漢ACANTO,、海德漢SPECTO和海德漢METRO長度計采用成像掃描原理。LED光源測量基準聚光鏡掃描掩膜光電池組
干涉掃描原理
干涉掃描原理是利用精細光柵的衍射和干涉形成位移的測量信號,。階梯狀光柵用作測量基準：高度0.2 μm的反光線刻在平反光面中,。光柵尺前方是掃描掩膜，其柵距與光柵尺柵距相同,，是透射相位光柵,。
光波照射到掃描掩膜時，光波被衍射為三束光強近似的光：-1,、0和+1,。光柵尺所衍射的光波中，反射光的衍射光強zui強的光束為+1和-1,。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇,，又一次被衍射和干
涉。它也形成三束光，并以不同的角度離開掃描掩膜,。光電池將這些交變的光強信號轉化成電信號,。
掃描掩膜與光柵尺的相對運動使*級的衍射光產(chǎn)生相位移：當光柵移過一個柵距時，前一級的+1衍射光在正方向上移過一個光波波長,，-1衍射光在負方向上移過一個光波波長,。由于這兩個光波在離開掃描光柵時將發(fā)生干涉，光波將彼此相對移動兩個光波波長,。也就是說,，相對移動一個柵距可以得到兩個信號周期。例如,，干涉光柵尺的柵距一般為8 μm,、4 μm甚至更小。其掃描信號基本沒有高次
諧波,，能進行高倍頻細分,。因此，這些光柵尺特別適用于高分辨率和高精度應用,。MT 1200和MT 2500系列的海德漢CERTO和海德漢METRO長度計采用干涉掃描原理,。
LED光源
測量基準
聚光鏡