成像掃描原理
簡單的說,，成像掃描原理是采用透射光生成信號：兩個具有相同或相近柵距的光柵尺光柵和掃描掩膜彼此相對運動。掃描掩膜的基體是透明的,，而作為測量基準(zhǔn)的光柵尺可以是透明的也可以是反射的。
當(dāng)平行光穿過一個光柵時,，在一定距離處形成明/暗區(qū),，掃描掩膜就在這個位置處,。當(dāng)兩個光柵相對運動時,，穿過光柵尺的光得到調(diào)制。如果狹縫對齊,，則光線穿過,。如果一個光柵的刻線與另一個光柵的狹縫對齊,，光線無法通過。一組規(guī)則排列的光電池將這些光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成電信號,。特殊結(jié)構(gòu)的掃描掩膜將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號,。柵距越小,，掃描掩膜和光柵尺間的間距越小,，公差越嚴(yán)。MT 60和MT 100系列的海德漢ACANTO,、海德漢SPECTO和海德漢METRO長度計采用成像掃描原理,。LED光源測量基準(zhǔn)聚光鏡掃描掩膜光電池組
干涉掃描原理
干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的衍射和干涉形成位移的測量信號。階梯狀光柵用作測量基準(zhǔn)：高度0.2 μm的反光線刻在平反光面中,。光柵尺前方是掃描掩膜,，其柵距與光柵尺柵距相同，是透射相位光柵,。
光波照射到掃描掩膜時,，光波被衍射為三束光強(qiáng)近似的光：-1、0和+1,。光柵尺所衍射的光波中,，反射光的衍射光強(qiáng)zui強(qiáng)的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇,，又一次被衍射和干
涉,。它也形成三束光，并以不同的角度離開掃描掩膜,。光電池將這些交變的光強(qiáng)信號轉(zhuǎn)化成電信號,。
掃描掩膜與光柵尺的相對運動使*級的衍射光產(chǎn)生相位移：當(dāng)光柵移過一個柵距時，前一級的+1衍射光在正方向上移過一個光波波長,，-1衍射光在負(fù)方向上移過一個光波波長,。由于這兩個光波在離開掃描光柵時將發(fā)生干涉，光波將彼此相對移動兩個光波波長,。也就是說,，相對移動一個柵距可以得到兩個信號周期。例如,，干涉光柵尺的柵距一般為8 μm,、4 μm甚至更小。其掃描信號基本沒有高次
諧波,，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分,。因此，這些光柵尺特別適用于高分辨率和高精度應(yīng)用。MT 1200和MT 2500系列的海德漢CERTO和海德漢METRO長度計采用干涉掃描原理,。
LED光源
測量基準(zhǔn)
聚光鏡