應用廣泛
海德漢公司的長度計適用于多種應用,。自動檢測設備、手動測量站或定位設備-無論是長度,、間距,、厚度、高度或直線位移都可以用海德漢公司的長度計快速,、可靠和的測量,。
測量原理
測量基準
海德漢公司的長度計具有量程大、精度高,、精度穩(wěn)定的特點,。其技術基礎是光電
掃描。海德漢公司的直線光柵尺采用實物測量基準,,即玻璃或玻璃陶瓷基體的式或增量式光柵尺,。這些測量基準支持大測量范圍,對振動和沖擊不敏感,,并具有確定的溫度特性,。測量基準的精度不受大氣壓力和相對濕度變化的影響-這是海德漢公司的長度計能夠長期穩(wěn)定的先決條件,。
海德漢公司用特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。? AURODUR:在鍍金鋼帶上蝕刻線條,,典型柵距40 μm? METALLUR:抗污染的鍍金層金屬線,,典型柵距20 μm
? DIADUR:玻璃基體的超硬鉻線(典型柵
距20 μm)或玻璃基體的三維鉻線格柵(典型柵距8 μm)
? SUPRADUR相位光柵:光學三維平面格柵線條,*抗污能力,,典型柵距不超過8 μm
? OPTODUR相位光柵:光學三維平面格柵線條,,超高反光性能,典型柵距不超過2 μm
這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外,,而且它刻制的光柵線條邊緣清晰,、均勻。再加上光電掃描法,,這些邊緣清晰的刻線是輸出高質量信號的關鍵,。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線
機制造。DIADUR相位光柵,,刻線高度約0.25 μmDIADUR光柵
測量步驟
增量測量法的光柵由周期性刻線組成,。位置信息通過計算自某點開始的增量數(shù)(測量步距數(shù))獲得。由于必須用參考點確定位置值,,因此光柵尺上還刻有一個參考點軌,。參考點確定的光柵尺位置值可以到一個信號周期。因此,,必須通過掃描參考點建立基準點或確定上次選擇的原點,。
測量法是指編碼器通電時就可立即得到位置值并隨時供后續(xù)信號處理電子電路讀取。無需移動軸執(zhí)行參考點回零操作,。位置信息來自光柵碼盤,,它由一系列碼組成。單獨的增量刻軌信號用于細分處理后得到位置值,,同時也能生成供選用的增量信號(與接口類型有關),。光電掃描大多數(shù)海德漢公司光柵尺或編碼器都用光電掃描原理。對測量基準的光電掃描為非接觸掃描,,因此無磨損。這種光電掃描方法能檢測到非常細的線條,,通常不超過幾微米寬,,而且能生成信號周期很小的輸出信號。測量基準的柵距越小,,光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴重,。海德漢公司的直線光柵尺采用
兩種掃描原理:
? 成像掃描原理用于20 μm至大約
40 μm的柵距。
? 干涉掃描原理用于更小柵距的光柵,,
例如8 μm,。
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