半導(dǎo)體設(shè)備韓國LS中空軸APM-HB03HBH-SV

韓國邁克彼恩Mecapion ，其前身為韓國麥特斯Metronix 株式會社成立于1995年,，于2007年3月份正式更名為邁克彼恩Mecapion,，是韓國zui大的自動化設(shè)備及機械裝置方面的核心部件即旋轉(zhuǎn)編碼器、伺服系統(tǒng)等產(chǎn)品的開發(fā)研制,、生產(chǎn),、銷售和售后服務(wù)的優(yōu)良企業(yè),，并獲得了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證,。產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于冶金,、電機、電梯,、輕工機械,、噴繪、紡織,、半導(dǎo)體等行業(yè),，在韓國電機驅(qū)動和運動控制行業(yè)處于。其中伺服控制技術(shù),，在整合了歐系和日系伺服系統(tǒng)的各自優(yōu)點的基礎(chǔ)上不斷進行創(chuàng)新和開發(fā),，使得伺服產(chǎn)品日益完善。 

邁克彼恩Mecapion 擁有伺服電機,、編碼器以及伺服驅(qū)動器等核心技術(shù)的自主開發(fā)能力,，優(yōu)良的開發(fā)技術(shù)加上的制造工藝使得邁克彼恩Mecapion 的產(chǎn)品有很好的性價比，能夠滿足不同行業(yè)用戶的應(yīng)用要求,。

伺服產(chǎn)品功率從30W到37KW范圍廣,，電機法蘭大小從40到220，編碼器反饋可以選擇增量型和值型,，電機軸輸出形式多樣供用戶選擇,。的性能和選擇的多樣性，使得邁克彼恩Mecapion 伺服產(chǎn)品可以充分滿足各種行業(yè)的需要,，得到了越來越多的用戶的認(rèn)可和支持,。同時供貨期短，服務(wù)專業(yè)細致,，也成為了邁克彼恩Mecapion 產(chǎn)品在市場中強有力的核心競爭力,。

開發(fā)完成半導(dǎo)體設(shè)備8‘’及12‘’晶圓用 spinner電機適用于涂膠，顯影及清洗工程

實現(xiàn)率瞬間加速特性-100.000rps以上

可根據(jù)客戶的要求,，定做各種SPinner電機

按照客戶的要求提供多種中空軸

采用磁性流體密封,，強化耐環(huán)境性

表面進行特殊涂布處理，強化耐腐蝕性

應(yīng)用范圍：

　　1,，半導(dǎo)體制造工業(yè)

　　2,，設(shè)備應(yīng)用

　　A.曝光顯影設(shè)備(涂膠，顯影)光刻加工程序的主要設(shè)備及掌控涂層,，曝光,，顯影。

　　B.清洗,、蝕刻設(shè)備用于蝕刻,，清洗,，去膜設(shè)備。

　　C.清洗設(shè)備適用于物理沖洗清潔,、顆粒清洗刷子,、聲控及噴霧工藝。

　　技術(shù)含量

　　設(shè)備條件

　　高轉(zhuǎn)速(5000rpm~8000rpm)真空軸

　　加/減速時間冷卻系統(tǒng)(水冷系統(tǒng))

　　低噪音和振動zui低公差

　　中空軸尺寸zui小化處理按照客戶需求柔性定制

　　采用重疊設(shè)計是尺寸zui小化

LS中空軸APM-HB03HBH-SV圖片

半導(dǎo)體設(shè)備韓國LS中空軸APM-HB03HBH-SV