羅茨泵是真空泵種類中一種常見的泵種，大家有時又稱為機(jī)械增壓泵,。
羅茨真空泵在泵腔內(nèi)有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反方向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接,。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間,、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，間隙一般為0.1～0.8毫米,；不需要用油潤滑,可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,，通常壓縮比很低,，故高、中真空泵需要前級泵,。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,，還取決于前級泵的極限真空,。
羅茨真空泵的原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間內(nèi),，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后空間是全封閉狀態(tài),，所以,，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。羅茨泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分,；抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）,；極限真空：單級為6.5×10-2帕，雙級為1×10-3帕,。
羅茨真空泵啟動快,，耗功少，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費用低,，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感,，在100～1帕壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體,。這個壓力范圍恰好處于油封式機(jī)械真空泵與擴(kuò)散泵之間,。因此，它常被串聯(lián)在擴(kuò)散泵與油封式機(jī)械真空泵之間,，用來提高中間壓力范圍的抽氣量,。