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X熒光光譜儀（XRF）是由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成,。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品,。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線,，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性,。探測系統(tǒng)測量出這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量,。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量,。
元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷,，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，根據(jù)莫斯萊定律,，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān),，其數(shù)學(xué)關(guān)系如下：
λ=K(Z− s) −2 （K和S是常數(shù)）
根據(jù)量子理論，X射線可以看成是由一種量子或光子組成的粒子流,，每個光具有的能量為：
E=hν=h C/λ （E為X射線光子的能量,，單位為keV；h為普朗克常數(shù),；ν為光波的頻率,；C為光速）
因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ),。此外,熒光X射線的強度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系,，因此也可以進行元素的定量分析。
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