徠卡體視顯微鏡中透鏡的像差

前面我們討論的是理想成像的電子光學,。在一些待定的條件下,，物與像之間有點一點對應和幾何相似的關系,。然而實際情況與理想的像有偏離，這就是傷差,。我們可以根據(jù)它們不同的產(chǎn)生原因,，用像點徑向位置的偏離來作定量描述。

1.幾何修差

當電子軌跡不滿足倍鈾條件時所形成的像差稱為幾何像差。已知倍軸條件歸結為兩點,，即（一）軌跡的徑向離軸位置（r）很?。唬ǘ┸壽E相對于軸的斜率或電子束對軸的傾角也很小,。幾何像差來自這些量并非無限小,。研究指出，影響zui重要的是三級倍差,，即實際像點的偏離正比于這些量的三級項者,。它們是球差（正比于小）,、當形差（正比于M’）,、場曲和像散（正比于rz“）和畸變（正比于r3）。電鏡中我們只關注*種和第四種幾何像差,。

2.球差

經(jīng)軸上物點發(fā)出的電子束斜率較小者,，可在理想傷平面中會聚成一個點。如果透鏡光鬧所決定的孔徑角,。A1,、A2一分別為像方或物方的電子柬有效孔徑角（或半張角）。因為孔徑角為噸的實心錐形電子束中包含有從o”蝎不同孔徑角的各電子束,，它會聚在不同位置處,，因此在理想像點與zui近透鏡的像點之間的某處．必存在一zui小模糊圓。

式中各符號納意義同式,。電子光學中的球差是不可消除的,。球差系數(shù)與透鏡極靴的形狀，焦炬等有關,，故在儀器的設計中應盡量設法減小c的值,。此外在使用中還可用物鏡光鬧扎的大小來調節(jié)束孔徑角軋、從而減小球差的模糊斑,。

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