真空閥門設計原則一般應有以下幾點：

①閥門的密封性能要好，不但閥板封閉處漏氣速率要小,，而且閥體的漏氣速率要?。?/p>

②閥門密封部件耐磨性要好,，特別是閥座與閥板密封部件要能反復使用,，壽命長；

③閥門的通導能力要大,；

④閥門材料應具有低飽和蒸汽壓,、高耐蝕能力和高化學穩(wěn)定性；

⑤超高真空閥門應耐烘烤,，烘烤溫度一般不低于 150°C,，zui高 450°C;

⑥閥門結構要簡單，造型美觀大方,，開關輕便,、 靈活，開關狀態(tài)應有標識,，大型閥門應有起吊裝置,， 操作方便，維修容易,；

⑦閥門零部件加工工藝性要好,，表面處理工藝*，閥門連接法蘭應符合真空法蘭國家標準要求,。玻璃真空活塞是利用閥瓣和閥孔接觸表面緊密貼合實現(xiàn)密封,，這就要求對接觸表面進行研磨，并涂敷真空油錯,。玻璃真空活塞工作壓力在10—2 Pa或更低一些,，多用于真空校準系統(tǒng)及玻璃真空系統(tǒng)中。但由于玻璃的氣密性表征真空閥的密封狀態(tài),。漏氣越少氣密性越好,。漏氣速率表示在單位時間內，所有通過不同渠道漏入真空閥的氣體量，單位為Pa*L/s,。當真空閥門的漏量小于規(guī)定的允許漏量時,，氣密性達到要求， 通常稱為沒有漏氣,，實際上不漏的閥門是不存在的,。真空閥門各部位允許漏量視閥門對真空度的要求不同而不同。脆性及活塞磨口處涂有一層油脂,，限制了它的使用范圍,， —般尺寸較小。國產玻璃真空活塞系列產品公稱尺寸為 DN2?20,，有直角,、二通和三路直角通等類型。

（2）橡膠密封圈密封

真空閥門的橡膠墊密封結構有6種（圖22-11）,， 圖22-11 （a）?（d）所示的結構用于較大口徑的真空 閥,。圖22-11 （a）所示的結構必須在閥座上加工密封 槽。為便于加工此槽,，必須把閥座和閥體分成兩部 分,，成為可拆卸的結構，這樣在結構上又增加了一道密封,。所以絕大多數(shù)的閥門都是在閥瓣上開密封槽 [圖 22-11 （b）,、（c）、（d）],。圖 22-11 （b）所示的結構需要加工燕尾,，較麻煩，圖22-11 （c）所示的結構 需加一個壓板,。圖22-11 （d）所示的結構集中了圖 22-11 （b）和圖22-11 （c）所示的結構的缺點,，不宜 采用。圖22-11 （e）所示結構簡單,，密封可靠,，是一 種較好的形式。

需要指出的是,，在確定閥瓣結構時,，要注意兩點。一是密封圈要固定牢,，長期啟閉不脫落,；二是閥桿與閥瓣不要使用剛性連接，特別是口徑大的閥門,， 閥桿與閥瓣之間一定要采用活動連接,，否則由于受力不均勻,，保證不了閥口的氣密封性。國內真空閥門的金屬密封墊如圖22-12所示,。圖 22-12 （a）所示是針閥,，閥芯材料一般是淬火鋼，閥座用錫或銅等軟金屬制成,。閥芯錐度為1 : 50或6°錐 角。閥芯表面要經過精細研磨,，以使錐面緊密配合,， 針閥主要用來調節(jié)氣流量，針形閥桿能實現(xiàn)氣流量連續(xù)細微的調節(jié),。圖22-12 （b）?（e）所示是超高真空密封結構,，一般閥瓣由無氧高異銅軟金屬制成，而閥 座由不銹鋼等硬金屬制成刀口形,。閥瓣被壓時,，刀口楔入閥瓣軟金屬，靠軟金屬塑性變形使密封面緊密貼合達到密封,。為了保證密封性,，閥門每次關閉時，都必須使刀痕很好重合,，刀尖倒角及定位裝置就是保證刀痕重合的措施之一,，一般采用刀尖圓角半徑為0.1_ 或0. 2mm。刀口形狀對閥門性能也有影響,，直角形刀口所需轉矩稍大一些,，如表22-1所示。 鋁墊壓在光滑的不誘鋼座上不會產生壓痕,，因而壓緊位置不重合也沒有系,，同時凸起受壓后靠基體本身變形來閉鎖。缺點是不適于閥蓋本身關閉烘烤,，因在高溫下墊圈本身會產生滑移,。圖22-13 （c）所示是不 銹鋼平座與升角1.5°?2. 5°的銅墊和鋁墊相結合，其優(yōu)點是對壓緊位置的重合性要求不高,。缺點是不能壓得過緊,，否則密封面積隨壓力急增。開啟烘烤溫度可達400°C,。圖22-13 （d）所示是采用不銹鋼平座與不銹鋼凸緣結合,。凸緣表面鍍金或銀，就像在接觸表面 之間加入一個薄的軟墊圈,，鍍層厚度應能阻止軟金屬從界面中擠出,，因而能產生大大超過鍍層屈服極限的界面壓力,。凸緣頂部圓角半徑很小，使密封面寬度限制在0.254?0.304mm之內,，可減小密封力和維持密封力恒定,。在閥蓋開啟或關閉狀態(tài)下都可進行烤。 但是這種密封配合表面精度要求較高,，如果表面有了淺的凹痕,，對位置重合要求就更高，否則會產生微漏,。