分子真空泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,,使之獲得定向速度,,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵,。
這種泵具體可分為:
1,、牽引分子泵 氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅(qū)送到泵的出口,。
2,、渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3,、復(fù)合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵,。
復(fù)合分子真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn):
復(fù)合式分子真空泵是渦輪分子真空泵與牽引分子真空泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體,。分子真空泵在很寬的壓力范圍內(nèi) ((10-6 ~ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比,,大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜承和動(dòng)密封的復(fù)合分子泵,,可以做到*無油,,且不用前級真空泵直接向大氣中排氣。
設(shè)計(jì)要點(diǎn):
在復(fù)合分子真空泵的設(shè)計(jì)中,,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系,。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,,而牽引級溝槽抽氣面積較小,,在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變,,使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無序,,至使返流增加,抽氣能力下降,。因此,,在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)在渦輪級和牽引級轉(zhuǎn)換處加上過渡級結(jié)構(gòu),以提高泵的抽氣性能,。
隨著復(fù)合分子真空泵的不斷改進(jìn),其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣,,在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵,,縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間,并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境,。
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