真空計(Vacuum Gauge),,又稱規(guī),,是測量真空度或氣壓的儀器,。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量,。
1,、用電離計檢漏時,,示漏物質(zhì)應選用電離效果與殘余氣體有可能大差異者,電離效果包括電離率及電離電位兩者的綜合結(jié)果,,一般用氫,,氦,二氧化碳等,。
2,、用熱真空計檢漏時,示漏物質(zhì)可用氫,,二氧化碳,,丙酮。,。酒精等,。一般說來,用氣體噴吹用液體覆蓋為好,,因為液體往往會堵塞漏孔,,還會污染真空系統(tǒng)或器件,,熱真空計因為慣性大,反應慢,,檢漏時巡噴速度不宜過快,,并仔細觀察,認真判別是系統(tǒng)的壓強波動,,儀器的漂移或是真正存在漏孔,。只有示漏物質(zhì)離開后,儀器指示恢復原狀的,,才是真正的漏孔,。熱真空計檢漏,要在它的測量范圍的真空度下,,才能有效,,即只適用于10-1——10-3托的真空度范圍。它哪呢過檢出zui小漏孔為1*10-5托升/秒,。
電離計的反應熱真空計快,,但因示漏氣體在真空系統(tǒng)中建立足夠分壓需要較長時間,故巡噴速度亦不能太快,。電離計能檢漏的壓力范圍,,大致同于其測量范圍,,故各種類型電離計各有其檢漏的壓力范圍,。電離計能檢的zui小可檢漏孔約為1*10-6——1*10-7托升/秒,。
在真空計檢漏中,,即使示漏氣體對著漏孔噴吹,。或者示漏液體涂于漏孔,,實際上都不可避免要夾帶有空氣進去,,即示漏物質(zhì)并沒有*取代空氣。帶進去的空氣一方面沖淡了示漏物質(zhì)的作用,,另一方面還會引起不必要的讀數(shù)波動,,因為混進的空氣分量時大時小。(end)
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