發(fā)格自動(dòng)化為您介紹光柵種類(lèi)有哪些
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光柵根據(jù)測(cè)量對(duì)象可分為直線光柵(測(cè)量直線位移)和圓光柵(測(cè)量角位移),而根據(jù)光柵尺的用途和材質(zhì)可分為玻璃透射光柵和金屬反射光柵,。根據(jù)刻度方法及信號(hào)輸出形式可分為式光柵和增量式光柵,。
1)直線光柵
直線透射式光柵是在玻璃表面感光材料的涂層上制成等距光柵條紋,如圖4-12所示,,相鄰線紋間距d稱為柵距,,玻璃透射光柵的特點(diǎn)是:光源可以采用垂直入射,光敏元件可直接接受光信號(hào),,因此信號(hào)幅度大,,讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
式直線光柵是利用光電轉(zhuǎn)換原理直接將運(yùn)動(dòng)部件的位置值以編碼的形式輸出,,即每一個(gè)確定位置均有*對(duì)應(yīng)的代碼輸出,。式直線光柵尺有兩條刻線軌道—增量軌和軌。
軌用于確定運(yùn)動(dòng)部件位置值信息,,對(duì)應(yīng)運(yùn)動(dòng)部件每個(gè)位置有一個(gè)固定碼輸出,,軌條紋一般采用復(fù)雜的排列算法,如偽隨機(jī)編碼方式等,,以提高數(shù)據(jù)容量和安全性,。增量軌條紋為等距條紋,用于信號(hào)細(xì)分,,提供更高分辨率的信號(hào),。
目前,式直線光柵尺精度可達(dá)±3 µm/m,,分辨率可達(dá)5 nm,,廣泛應(yīng)用于各類(lèi)數(shù)控機(jī)床特別是采用直驅(qū)電機(jī)的高速機(jī)床。
直線反射式光柵是在鋼尺或鍍金鋼帶鏡面上蝕刻出光柵條紋,。金屬反射光柵的特點(diǎn)是:標(biāo)尺光柵的線膨脹系數(shù)很容易做到與機(jī)床材料一致,;標(biāo)尺光柵的安裝和調(diào)整比較方便;安裝面積較??;易于接長(zhǎng)或制成整根的鋼帶長(zhǎng)光柵,;不易碰碎。目前常用的每毫米條紋數(shù)為40,、50,、80以上,再經(jīng)過(guò)細(xì)分電路,,分辨率也可達(dá)到微米級(jí)到納米級(jí),。
2)圓光柵
圓光柵是在玻璃圓盤(pán)的外環(huán)端面上,做成光柵條紋,,條紋呈輻射狀,,相互間夾角(稱為柵距角)相等。根據(jù)不同的使用要求,,在圓周上的條紋數(shù)不相同,。圓光柵一般有六十進(jìn)制、十進(jìn)制以及二進(jìn)制等多種編碼形式.
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