干涉儀是通過測量光照射到物體上時產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象來測量物體的表面形狀,、折射率,、尺寸等的裝置。

干擾是指多個波疊加,、相互增強(qiáng)或抵消,，從而產(chǎn)生新波形的現(xiàn)象。當(dāng)多個波來自同一源頭,，或具有相同或相似的頻率時,，干擾最為明顯。

干涉儀有多種類型,，例如邁克爾遜干涉儀,、馬赫-曾德爾干涉儀和斐索干涉儀。

干涉儀應(yīng)用

干涉儀的主要應(yīng)用是對物體表面進(jìn)行非接觸式觀察,，包括玻璃,、金屬、陶瓷等平板,。玻璃的例子包括智能手機(jī)的蓋玻片、液晶顯示器的玻璃,、分色光學(xué)系統(tǒng)中使用的棱鏡以及半導(dǎo)體掩?；澹饘俚睦影＞吆弯X盤,。

此外,，它還可以測量電子設(shè)備半導(dǎo)體器件中使用的硅晶片、硬盤基板等特殊材料,。射電干涉儀還用于射電望遠(yuǎn)鏡的天文觀測,。

干涉儀原理

主干涉儀將光源發(fā)出的光分成兩束，一束光穿過樣品后,，與另一束光發(fā)生干涉,。此時，光路會根據(jù)穿過樣品的折射率和距離而變化,，從而產(chǎn)生干涉條紋圖案,。

通過分析這些干涉條紋的圖案，干涉儀可以測量樣品的表面形狀和透射波前形狀。干涉儀可以測量的最大尺寸為幾厘米到十幾厘米,。如果樣品很大,，則需要一些巧妙的技巧，例如將其切斷,。

干涉儀類型

干涉儀既可以測量平面拋光表面,，例如玻璃平板、晶圓和鏡子,，也可以測量球面,，例如光學(xué)透鏡、鋼球和塑料透鏡,。此外,，還有多軸干涉儀，可以在兩個或三個軸上進(jìn)行測量,，從而節(jié)省空間,，提高測量靈敏度。

激光掃描干涉儀還可以測量平面以外的表面,，例如圓柱面,。它們可用于測量玻璃、光纖端面,、陶瓷,、研磨金屬表面、注塑塑料等,。干涉儀種類繁多,，因此需要選擇 適合您應(yīng)用的型號。