前段時(shí)間我們一起了解了《壓電納米位移臺(tái)是如何工作的》,，主要介紹壓電位移臺(tái)里壓電馬達(dá)的種類(lèi)和原理?；仡櫼幌拢河蓧弘婑R達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)一般把馬達(dá)安裝在基座,，而動(dòng)子則是位移臺(tái)臺(tái)面的一部分。沒(méi)有傳統(tǒng)電磁馬達(dá)(伺服或步進(jìn)電機(jī))驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)所需的絲桿或蝸輪蝸桿組傳動(dòng)部件,，是一個(gè)直接驅(qū)動(dòng),，沒(méi)有回程間隙的驅(qū)動(dòng)方式，有一定自鎖能力,。由于壓電陶瓷的形變量極小,，可以達(dá)到非常微小的平臺(tái)位移運(yùn)動(dòng)增量，可以說(shuō)壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)是名副其實(shí)的納米位移臺(tái),。

接下來(lái)我們將著重講解壓電平移臺(tái)的主要參數(shù),。
                                                                     
壓電平移臺(tái)的通用參數(shù)  

行程:
在保證精度的情況下，運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)行距離,。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的最大行程是±150mm,。

最大負(fù)載：
對(duì)于線性平臺(tái)而言，這是指水平安裝時(shí),，可施加給平臺(tái)的最大負(fù)載,。    且質(zhì)量負(fù)載中心位于平臺(tái)的中心，垂直于運(yùn)動(dòng)軸和平臺(tái)表面,。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的最大負(fù)載是20kg,。

最大速度：
最大速度是指在額定負(fù)載的狀態(tài)下，系統(tǒng)能夠持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行的最大速度,。對(duì)于短行程位移臺(tái),，其行程的限制也是制約運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)最大速度的關(guān)鍵影響。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的最大閉環(huán)控制速度是50mm/s,，開(kāi)環(huán)運(yùn)行可達(dá)100mm/s,。

微量運(yùn)動(dòng)&納米級(jí)控制參數(shù)  

最小步距:
最小步距是指運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動(dòng)的最小量,。是實(shí)際當(dāng)中能夠?qū)崿F(xiàn),、經(jīng)過(guò)反復(fù)驗(yàn)證并且可重復(fù)的最小運(yùn)動(dòng)增量,。這是表現(xiàn)壓電平移臺(tái)是真正納米平移臺(tái)的關(guān)鍵指標(biāo)。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的最小步距是10nm,。

雙向重復(fù)定位精度:
雙向重復(fù)定位精度是指,，多次從兩個(gè)方向移動(dòng)到指定位置的重復(fù)性指標(biāo)。這也是位移臺(tái)常用并且重要的,，表征重復(fù)性的參數(shù),。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的最小雙向重復(fù)定位精度是±100nm。行程對(duì)重復(fù)定位精度有一定影響,，和在毫米行程內(nèi),，可達(dá)到+/-50nm或更小。

運(yùn)行軌跡穩(wěn)定性方面參數(shù)  

運(yùn)動(dòng)平行度:
也稱(chēng)平行度,、平直度,、平面度等，是指非軸向線性誤差中的垂直方向的分量,。將固定于基準(zhǔn)平面(如隔振平臺(tái)或大理石平臺(tái))上的滑臺(tái)從基準(zhǔn)點(diǎn)(行程端沿一定方向以一定間隔或全行程驅(qū)動(dòng)電動(dòng)位移臺(tái)并定位),，在相應(yīng)定位位置上，分別測(cè)量垂直方向的差異量,，我們定義其最大差值為運(yùn)動(dòng)平行度,。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的運(yùn)動(dòng)平行度＜10μm。

直線度:
運(yùn)動(dòng)直線度是指非軸向線性誤差中的水平方向的分量,。將固定于基準(zhǔn)平面(如隔振平臺(tái)或大理石平臺(tái))上的滑臺(tái)從基準(zhǔn)點(diǎn)(行程端到全行程運(yùn)動(dòng),，沿一方向以一定間隔(通常選3~10 個(gè)點(diǎn)，盡可能均勻分布在全行程范圍)依次驅(qū)動(dòng)電動(dòng)滑臺(tái)并定位,，在相應(yīng)定位位置上,。分別測(cè)量水平方向的差異量，

我們定義其最大差值為運(yùn)動(dòng)直線度,。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品的直線度在0-50行程內(nèi)<2um,，50-150行程<4um，更大行程的直線度約<10um,。

    聯(lián)合光科的雙向重復(fù)定位精度,，運(yùn)動(dòng)平行度，直線度檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn),，符合GB/T 17421.2-2000（幾何精度檢驗(yàn)）,。測(cè)試環(huán)境：恒溫恒濕環(huán)境，溫度（27.5±1）℃,，濕度（61±5）%,。位移臺(tái)安裝在氣浮隔振平臺(tái)正常工作狀態(tài)，實(shí)驗(yàn)室中無(wú)影響測(cè)量精度的氣流擾動(dòng),、灰塵顆粒,、振動(dòng)和較強(qiáng)磁場(chǎng)波動(dòng),。測(cè)量?jī)x器：激光干涉儀，以上是壓電平移臺(tái)的主要參數(shù)介紹,，歡迎大家咨詢(xún),！

 相關(guān)產(chǎn)品推薦 

 

    聯(lián)合光科的10nm精度壓電平移臺(tái)為鋁合金主體，采用交叉滾柱導(dǎo)軌,，具有高精密度,、高重復(fù)性，高線性度,。超薄緊湊型的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，方便機(jī)械集成。聯(lián)合光科提供最小步進(jìn)距10nm的壓電平移臺(tái)庫(kù)存產(chǎn)品供您選擇,。

    聯(lián)合光科期望在您構(gòu)建光學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的過(guò)程中,，能為您提供簡(jiǎn)潔,、經(jīng)濟(jì),、快捷的手段，并方便您使用過(guò)程中快捷的進(jìn)行元件的固定,、替換和調(diào)整,。


產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 壓電超聲波馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，軸向推8N
2. 采用交叉滾柱導(dǎo)軌,，具有高精密度,、高重復(fù)性，高線性度
3. 斷電自鎖,，內(nèi)具剎車(chē)功能,，無(wú)回程間隙
4. 最小步進(jìn)距10nm
5. 光柵尺位置傳感器
6. 超薄緊湊型設(shè)計(jì)，方便機(jī)械集成,，鋁合金主體,，陽(yáng)極氧化處理