卓立漢光全新推出自動聚焦拉曼光譜系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過智能化實時調(diào)焦技術(shù),，顯著提升樣品檢測的可靠性和效率，有效解決樣品表面不平整等導致的聚焦困難,、信號采集不穩(wěn)定等問題,，具備高穩(wěn)定、高分辨率,、高速掃描等性能優(yōu)勢,，可實現(xiàn)三維化學組分的信息檢測，其適用于材料科學,、生物醫(yī)藥,、半導體等領(lǐng)域的微區(qū)化學成分分析。

引言

拉曼光譜作為分子 “指紋” 識別技術(shù)，在微區(qū)化學成分分析中不*或缺,，但傳統(tǒng)拉曼圖像掃描模式面臨多重挑戰(zhàn)：樣品厚度不均導致局部離焦,、動態(tài)環(huán)境下聚焦漂移、粗糙表面信號采集穩(wěn)定性差等,，嚴重限制了對復雜結(jié)構(gòu)樣品（如半導體晶圓,、生物組織、藥物制劑）的精準表征,。

未解決這一難題,，卓立漢光推出自動聚焦拉曼光譜系統(tǒng)，通過智能化聚焦控制與優(yōu)化光路設(shè)計,，實現(xiàn)對樣品表面形貌的動態(tài)追蹤與實時校正,，無需手動干預即可完成復雜樣品的高效、高保真檢測,，為科研與工業(yè)領(lǐng)域提供了全新的拉曼化學成像解決方案,。

性能優(yōu)勢

系統(tǒng)以 “實時聚焦 + 精準檢測” 為核心設(shè)計理念，通過多模塊協(xié)同實現(xiàn)復雜樣品的高效表征：

• 三維成像能力：搭配激光共焦光路設(shè)計,，采集樣品表面化學組分信息,，通過三維數(shù)據(jù)構(gòu)造表面成分圖像。

• 高頻實時響應(yīng)：優(yōu)化光路與快速聚焦算法,，響應(yīng)速度塊,，可實百Hz高頻響應(yīng)，實現(xiàn)真正意義上的焦平面實時追蹤,；

• 亞微米級靈敏度：集成高靈敏度光學傳感器與模擬電路快速反饋模塊,，壓電陶瓷驅(qū)動物鏡動態(tài)追蹤樣品表面，可實現(xiàn)亞微米尺度焦深變化識別,，超越拉曼光譜分辨極限

• 強抗干擾能力：抗環(huán)境振動干擾設(shè)計,，適合長時間連續(xù)掃描，具備高穩(wěn)定性,。

• 低損傷檢測：激光連續(xù)可調(diào)功率,，有效避免樣品光損傷，適合生物活細胞,、有機材料等敏感體系

• 高空間分辨率：搭配高數(shù)值孔徑物鏡與優(yōu)化的光路設(shè)計,，空間分辨率低至0.5um，清晰解析微區(qū)化學分布差異,。

• 可拓展性強：可升級相關(guān)配置,，同步輸出表面形貌圖

典型應(yīng)用場景

材料科學：半導體晶圓缺陷分析、電池極片成分分布,、薄膜材料層間界面表征,、高分子聚合物相分離研究等,。

生物醫(yī)藥：組織切片微區(qū)成分成像、活細胞代謝物動態(tài)監(jiān)測,、蛋白質(zhì)構(gòu)象變化分析等,。

制藥領(lǐng)域：藥片活性成分分布均勻性檢測、緩釋制劑包膜成分分析,、中藥微丸多組分識別等,。

考古與文博：陶瓷釉料分層成分鑒定、壁畫顏料微區(qū)分析,、文物表面腐蝕產(chǎn)物表征等,。

環(huán)境監(jiān)測：微塑料顆粒成分與形貌關(guān)聯(lián)分析、大氣顆粒物化學組成溯源等,。

測試案例

WSe晶圓表面成分成像

采用 532nm 激光器對WSe 晶圓（檢測范圍 5.5×5cm）進行分析,，對同一片晶圓進行非自動聚焦采集時，可以清晰看到樣品的離焦情況,，拉曼光譜信號“山脊狀”分布,，無法反映真實成分分布。使用自動共聚焦技術(shù)檢測時,，可使樣品表面始終處于精準對焦狀態(tài),，拉曼信號強度呈現(xiàn)均勻分布。此外,，且捕捉到少量因局部成核,、薄膜增厚導致的強信號點，為晶圓生長缺陷分析提供關(guān)鍵依據(jù),。

圖 WSe晶圓樣品,，a（非自動聚焦）b（自動聚焦）的拉曼成像平面圖；c（非自動聚焦）d（自動聚焦）的拉曼成像剖面圖

先進陶瓷材料

先進陶瓷（又稱高性能陶瓷或工程陶瓷）是一類具有優(yōu)異力學,、熱學,、電學或化學性能的無機非金屬材料，廣泛應(yīng)用于高科技和工業(yè)領(lǐng)域,。采用532nm激光器檢測先進陶瓷材料,，檢測范圍50x50um，其形貌高度變化約為40um,。采用非自動聚集技術(shù)對陶瓷表面進行拉曼成像時,，僅部分樣品區(qū)域能保持清晰對焦，可以清晰看到樣品的離焦情況,。下圖（使用自動共聚焦技術(shù)），可使樣品表面始終處于精準對焦狀態(tài),。

圖 先進陶瓷材料,，a（非自動聚焦）b（自動聚焦）的拉曼成像平面圖,；c（非自動聚焦）d（自動聚焦）的拉曼成像剖面圖

結(jié)論

卓立漢光自動聚焦拉曼光譜系統(tǒng)憑借智能化實時調(diào)焦技術(shù)與優(yōu)化光路設(shè)計，有效克服了傳統(tǒng)拉曼光譜在復雜樣品檢測中的離焦,、信號不穩(wěn)定等難題,，實現(xiàn)了物質(zhì)化學成像分析，為材料科學,、生物醫(yī)藥,、制藥、考古以及環(huán)境監(jiān)測等諸多領(lǐng)域的微區(qū)成分精準分析提供了切實可行的優(yōu)質(zhì)解決方案,。