高效過濾器泄漏檢測的主要目的是檢查過濾器及其安裝部位的密封性,，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并修補(bǔ)泄漏點(diǎn)，確保潔凈室的潔凈度,。泄漏的過濾器會(huì)影響整個(gè)潔凈室的潔凈程度,，因此檢測是確保潔凈室性能的關(guān)鍵步驟。

不同的濾料和不同的濾速最輕易穿透微粒的粒徑是不同的,，MPPS檢測方法就是采用最易穿透粒徑來檢測效率的方法,。常見的粒子計(jì)數(shù)器檢測法，光度計(jì)檢測方法（也稱DOP法,，或PAO法）都是MPPS方法,。

兩者的區(qū)別在于，光度計(jì)能夠記錄所有粒徑范圍內(nèi)的粒子質(zhì)量濃度,，而粒子計(jì)數(shù)器測試高效過濾器上游的高濃度氣體,，需要外接稀釋器進(jìn)行氣溶膠稀釋，使操作變的復(fù)雜且耗時(shí),，如不接稀釋器直接測試高效過濾器上游粒子數(shù),，很容易造成粒子計(jì)數(shù)器的污染甚至損壞。

使用粒子計(jì)數(shù)器測量過濾器前后粒子的數(shù)量,，計(jì)算過濾效率,。這種方法需要的設(shè)備靈敏度非常高，且此方法適用于檢測微小泄漏,，計(jì)算耗時(shí)長且成本較高,，所以普遍被行業(yè)認(rèn)可的光度計(jì)法不僅檢測方便且能被眾多客戶所接受。

一,、氣溶膠光度計(jì)檢測法

采用DOP（PAO）發(fā)生器在過濾器上游發(fā)塵,，使用光度計(jì)檢測過濾器上下游氣溶膠濃度來判定過濾器是否有泄漏。發(fā)塵的目的是因高效過濾器上游塵粒濃度較低,，僅用氣溶膠光度計(jì)在不發(fā)塵的情況下檢測,，較難發(fā)現(xiàn)有泄漏，需補(bǔ)充發(fā)塵才能明顯、容易地發(fā)現(xiàn)泄漏,。

人工氣溶膠DOP已有近40年歷史,，一段時(shí)間以來，因被懷疑對人有致癌作用,，現(xiàn)常以DOS,、DEHS及PAO等代替，但實(shí)驗(yàn)方法仍稱“DOP（PAO）法”,。

ISO14644-3(2019)氣溶膠光度計(jì)法

過濾器上游氣溶膠濃度：過濾器上游氣溶膠的濃度應(yīng)在1mg/m3～100mg/m3之間,。并非所有光度計(jì)都能使用1mg/m3作為上游氣溶膠濃度挑戰(zhàn)。

• 各過濾器上游氣溶膠濃度測量值不應(yīng)超過平均測量值的15%,。低于平均濃度,，可能會(huì)降低輕微泄露的敏感性。高于平均濃度,，可能會(huì)增加輕微泄露的敏感性,。

掃描探頭尺寸：推薦使用1cm×8cm的矩形探頭，或直徑為3.6cm的圓形探頭,。

掃描速度：探頭橫向掃描速率約為5cm/s,。

完整性測試接受標(biāo)準(zhǔn)

掃描過程中，出現(xiàn)任何大于或等于指定泄漏限值的測量結(jié)果,，都應(yīng)把掃描探頭保持在泄漏位置,。泄漏位置應(yīng)通過保持氣溶膠光度計(jì)最大讀數(shù)的探頭位置來確定。

• 超出過濾器上游氣溶膠濃度0.01%的泄漏被視為超過最大允許泄露限值,；所以,，可接受標(biāo)準(zhǔn)常表達(dá)為：≤0.01%。

• 對于過濾效率(MPPS)在99.95%(H13) ~ 99.995%(H14)的過濾系統(tǒng),，可接受標(biāo)準(zhǔn)為≤0.1%,。

• 對于過濾效率(MPPS)低于99.95%的過濾系統(tǒng)，供需雙方協(xié)商確定驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),。

二,、如何讓檢測更加高效

1.測試儀帶著電源“小尾巴”移動(dòng)困難

• 多個(gè)房間移動(dòng)時(shí)需要拔插，找最近的接口,，但光度計(jì)停電后需要重新進(jìn)行校零點(diǎn)和上游濃度檢測,；

氣溶膠光度計(jì)3991匹配鋰電供電,，可滿足全天測試需求,，氣溶膠發(fā)生器3990-01是一款便攜外接氣源即可發(fā)塵的設(shè)備，該組合設(shè)備可解決測試儀帶著電源“小尾巴”,，移動(dòng)困難的需求,。

2.安裝效果很好，就是測試不通過

遇到此情況需要了解檢測背景環(huán)境是否清潔，安裝過程對靜壓箱是否清潔,，尤其是縫隙部位,，要進(jìn)行清潔后再進(jìn)行檢測。

3.紅外掃描代理人工錄入

測試人員只需通過電腦條形碼生成軟件,，將生成得條形碼逐一貼在被測高效過濾器得旁邊,，在每次檢測過程中，均可自動(dòng)掃描條形碼信息,，便可自動(dòng)錄入ID信息 ,，大大節(jié)省了檢測得時(shí)間。