晶圓烘箱的結(jié)構(gòu)組成與用途

來源：愛義信工業(yè)科技（上海）有限責任公司 2025年07月03日 09:35

晶圓烘箱是半導(dǎo)體制造中用于晶圓熱處理的關(guān)鍵設(shè)備,，其核心功能是通過準確控溫實現(xiàn)光刻膠固化,、干燥及防氧化處理，直接影響半導(dǎo)體器件的良品率與性能,。

　　結(jié)構(gòu)組成與功能模塊：

　　1,、加熱系統(tǒng)：采用不銹鋼無塵加熱器，通過PID智能演算實現(xiàn)自動恒溫,，溫度波動度控制在±0.5℃以內(nèi),。

　　2、氣體控制系統(tǒng)：支持氮氣氣氛控制,，氧含量可低至<20ppm,，適用于對氧化敏感的工藝步驟。采用密封內(nèi)循環(huán)風路設(shè)計,，減少氮氣消耗,，風道采用倒U型結(jié)構(gòu)，確保送風均勻性,。

　　3,、傳輸與潔凈系統(tǒng)：工作室內(nèi)百級潔凈度，配備耐高溫高效過濾器,，過濾率達0.3μm粒子99.995%以上,。隔板高度可調(diào)，適應(yīng)不同尺寸晶圓的加工需求,。

　　應(yīng)用場景：

　　1,、光刻膠固化：在基片清洗后的前烘烤(Pre-baking)、涂膠后的軟烘焙(Soft-baking)及曝光顯影后的堅膜硬烘(Hard-baking)中,，通過精確控溫避免光刻膠層頂部“結(jié)殼”,，確保溶劑均勻揮發(fā)。

　　2、防氧化處理：適用于硅片,、砷化鎵,、鈮酸鋰等材料的潔凈烘烤，通過惰性氣氛控制降低氧濃度,，避免材料表面氧化,。

　　3、精密元件干燥：擴展應(yīng)用于LCD,、TFT,、COMS、生物醫(yī)藥,、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域的精密元件干燥,，溫度均勻度±1.5%。

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