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錦正茂10nm級液氦極低溫系統(tǒng)簡介

來源:北京錦正茂科技有限公司   2025年07月01日 10:27  

一,、概述:

系統(tǒng)組成:

該系統(tǒng)由氦制冷機、氦壓縮機,、水冷機,、真空泵組、溫度傳感器,、控溫儀,、真空腔體、KF25真空抽口,、以及制冷機支架,、樣品臺、樣品卡等附件共同構成,。

產(chǎn)品特點:

1.制冷量:一級制冷7W@45K,,二級制冷1.0W@4K,所需電為380V,,50Hz,。

2.工作壓力:<2×10-4Pa正常生產(chǎn)時,,會經(jīng)過氦氣質(zhì)譜檢漏儀撿漏,,真空度wan全可以達到10-4Pa,(可選10-6Pa)依據(jù)泵的極限真空而定,。

3.溫度監(jiān)控:樣品臺處設置一處溫度測量點,,監(jiān)控并顯示樣品處的溫度。測溫精度±0.01K,。

4.樣品降溫和升溫時間:制冷至4K的時間小于2.2h(腔室加大后會延長制冷時間),,制冷關機后在真空下恢復到常溫的時間小于3h,該裝置采用無液氦閉循環(huán)制冷機制冷,,制冷量為[email protected],,無負載是降溫到70K所需時間為60min,當安裝上負載后,,考慮到負載以及相關支撐裝置的冷卻,,制冷時間會相應的加長,但是依據(jù)經(jīng)驗,該降溫時間大約在1.2h,,滿足實驗要求,。

5.集成控制系統(tǒng):控制真空系統(tǒng)、制冷機的運行及安全反饋功能,??稍O置和顯示工作目標參數(shù)和系統(tǒng)工作狀態(tài),具備反饋安全控制功能,。

技術指標:

震動量:<10nm

變溫范圍:4.5K-325K (零下269.15-零上51℃)

測溫精度:0.01

度:10-4pa  

光學窗口:2只(可定制)

窗口材料:熔融石英

輸出電極:8

二,、操作流程

1:將按照所需要做的實驗進行安裝相應的卡具。安裝完成后按照圖紙將系統(tǒng)組件完畢,。

2:使用分子泵組將分子泵組的分子泵抽氣端口和真空腔體的KF25的真空抽氣口用焊接波紋管連接在一起,,打開波紋管上的高真空擋板閥,開啟分子泵組,,將系統(tǒng)內(nèi)的真空度降至低于2X10-4Pa,,關閉擋板閥移除波紋管(若實驗時不礙事可以不進行拆除);

3:連接控溫儀,,開啟壓縮機,,對系統(tǒng)內(nèi)的進行降溫,降溫至4K以下,。在控溫儀上顯示附近的溫度,,以及冷頭處的溫度。

4:測試完成后,,關閉壓縮機,,等待系統(tǒng)自動升溫。

熱仿真分析

在降溫至4K時,,制冷機的功率為1.2W,,此時對整個所處環(huán)境進行熱仿真分析,具體分析結果如下圖,。

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根據(jù)熱仿真結果可知,,在4.2K時,溫度均勻一致,。

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