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美國BIRD 8890-300SC13型石油射頻終止負(fù)荷產(chǎn)品規(guī)格

來源:東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司   2025年06月30日 13:46  

  美國BIRD 8890-300SC13型石油射頻終止負(fù)荷以實(shí)現(xiàn)最大的過程可重復(fù)性和一致性,,現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的RF功率調(diào)節(jié)和控制,。確保準(zhǔn)確且可重復(fù)的RF電源到腔室的關(guān)鍵組件是RF發(fā)電機(jī)的校準(zhǔn),,調(diào)節(jié)和監(jiān)視?,F(xiàn)在,Bird提供超穩(wěn)的低VSWR負(fù)載,,可快速,,精確地測量發(fā)電機(jī)功率輸出時(shí),與精確的功率傳感器(例如Bird 4020系列)一起使用,。 8890-300SC13不僅提供較低的VSWR,,而且在Process關(guān)鍵頻率下VSWR的總變化小于0.1 dB。由于校準(zhǔn)不同的時(shí)間長度,,不需要負(fù)載熱身或重復(fù)性風(fēng)險(xiǎn),。這可以大程度地減少與此校準(zhǔn)相關(guān)的錯(cuò)誤,并控制更關(guān)鍵的過程變量之一,。

  美國BIRD 8890-300SC13型石油射頻終止負(fù)荷產(chǎn)品規(guī)格如下:

項(xiàng)目編號(hào)8890-300SC13項(xiàng)目名稱2.5 kW,,超穩(wěn)定,,石油射頻終止負(fù)荷電力等級(jí)2.5 kW頻率范圍和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大,。

VSWR小于1.05:1阻抗ω50(名義)VSWR穩(wěn)定性<0.1 dB,穩(wěn)定頻率下的額定功率從0到100%穩(wěn)定頻率13.56 MHz±10 kHz連接器“ QC”類型LC(女性) - 通常提供互鎖熱開關(guān) - 可選通常關(guān)閉,。在236°C(457°F)處打開熱開關(guān)等級(jí)115 VAC,,10 A

230 VAC,5 A溫度范圍操作: +5至+40°C(+41至+104°F)

存儲(chǔ): - 40至+45°C( - 40至40至+113°F)高度1520 m(5000英尺)濕度95%的無調(diào)最大,。冷卻方法油介電和對流電流方面25.2“ x 7” x 17.2“

638 x 178 x 437毫米重量59磅,。

27公斤結(jié)束黑色環(huán)氧樹脂

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