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壓力傳感器的芯體材料主要是穩(wěn)定性方面的技術(shù)要求,，除了材料性質(zhì)以外,，還有版圖的設(shè)計(jì)，加工工藝和裝配工藝等方面的要求。壓力傳感器芯體從材料上來(lái)講,，主要有：?jiǎn)尉Ч璧男倔w,、多晶硅的芯體、陶瓷的芯體,、水晶的芯體,、金屬的芯體、聚酰亞胺的芯體等等,。
壓力傳感器的單晶硅芯體,，單晶硅膜的SOI結(jié)構(gòu)，能夠承載較高的工作溫度,，較好的工作靈敏度,，微機(jī)械處理單晶硅，可以提高穩(wěn)定性和再現(xiàn)性,，消除滯后現(xiàn)象,。
壓力傳感器的多晶硅的芯體在二氧化硅層上淀積多晶硅膜，既利用了硅優(yōu)良的機(jī)械特性,，又保證了壓敏電阻與襯底間良好的絕緣性,，大大提高了器件的溫度特性。
壓力傳感器的陶瓷的芯體超過(guò)100萬(wàn)次壓力循環(huán),，極低的溫度漂移,，優(yōu)良的線性精度，300%的過(guò)載壓力,，線性精度和過(guò)載壓力都有良好的性能體現(xiàn),。
壓力傳感器的水晶的芯體采用音叉型晶體單元，由此可以得到安定度高的振蕩頻率,，從而實(shí)現(xiàn)了具有高精度及高分辨能力,。
壓力傳感器采用聚酰亞胺的芯體，相對(duì)電阻變化與壓力呈良好的線性關(guān)系,，可以實(shí)現(xiàn)較高精度的壓力測(cè)量,。
隨著傳感器行業(yè)的技術(shù)革新和發(fā)展，相信會(huì)有更多的新材料新工藝的引進(jìn),到時(shí)壓力傳感器的性能將有極大的提高,。
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