愛發(fā)科（ULVAC）真空泵憑借其多樣化技術(shù)路線（干式/油式）和優(yōu)秀的穩(wěn)定性,，廣泛應(yīng)用于以下核心領(lǐng)域：

 ?一、半導(dǎo)體與制造?

1. ?芯片制造關(guān)鍵工藝?

• 用于刻蝕,、離子注入,、薄膜沉積等環(huán)節(jié),，提供高潔凈真空環(huán)境（干式泵避免油污染晶圓）。

• 濺射設(shè)備中維持10?3 Pa真空度,，保障金屬鍍層均勻性（如GLD系列油旋片泵）,。

2. ?顯示面板與光學(xué)鍍膜?

• 液晶面板生產(chǎn)的真空貼合工藝,，確保無氣泡缺陷,。

• 光學(xué)鏡片鍍膜時(shí)提供穩(wěn)定真空，提升薄膜附著力（DAP-6D隔膜泵適用小型設(shè)備）,。

 ?二、能源與化工?

1. ?新能源電池生產(chǎn)?

• 電極材料干燥工序中創(chuàng)造無油真空,，防止電解液污染,。

• 太陽能電池硅片鍍膜設(shè)備的真空系統(tǒng)。

2. ?化工流程強(qiáng)化?

• 真空蒸餾,、分子蒸餾工藝的核心動(dòng)力源（耐腐蝕型號處理酸性氣體）,。

• 腐蝕性氣體回收（如DAT-100S干泵耐受HF,、Cl?）。

 ?三,、通用工業(yè)場景?

 ?核心性能優(yōu)勢?

• ?高潔凈度?：干式泵（如DAT系列）有效杜絕油蒸氣反流,，滿足半導(dǎo)體級潔凈要求,。

• ?強(qiáng)適應(yīng)性?：

• 油旋片泵（VDN301）支持高粉塵、水蒸氣環(huán)境,。

• 特殊涂層泵體耐腐蝕性提升3倍以上,。

• ?低維護(hù)設(shè)計(jì)?：無彈簧旋片結(jié)構(gòu)（如VSN2401）避免停泵故障，壽命延長40%,。

注：油式泵需定期更換密封件和潤滑油，建議按廠商指南維護(hù),。