超凈高純化學(xué)品是微電子技術(shù)發(fā)展過程中的關(guān)鍵基礎(chǔ)化工材料，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體,、平板顯示,、太陽能光伏領(lǐng)域等及微電子、光電子器件制造領(lǐng)域,。隨著微電子技術(shù)的迅猛發(fā)展,，對超凈高純試劑的要求和標準也不斷在提高。超凈高純化學(xué)品的純度和潔凈度對集成電路的成品率,、電性能及可靠性均有十分重要的影響,。不同線寬的集成電路（IC）制作工藝技術(shù)，對超凈高純化學(xué)品中金屬雜質(zhì),、顆粒物有嚴格要求,。金屬雜質(zhì)如Au、Pt,、Fe,、Ni、Cu等,，以及堿金屬Na,、K等，都會對電子元器件的性能產(chǎn)生嚴重影響,。因此,，在制備超凈高純化學(xué)品時，除金屬雜質(zhì)和顆粒是至關(guān)重要的環(huán)節(jié),，如下表所示：

SEMI國際標準等級及應(yīng)用

超凈高純化學(xué)品伴隨著集成電路的整個制作過程,，在濕法工序中，化學(xué)品中的金屬雜質(zhì)會危害到電子元器件電性能,，極微量的金屬雜質(zhì)就會嚴重影響半導(dǎo)體的產(chǎn)品質(zhì)量,。如Au、Pt,、Fe,、Ni、Cu等,，屬于硅片中的快擴散物質(zhì),，影響元器件的可靠性和閾值電壓,，可能導(dǎo)致低擊穿和缺陷。堿金屬如Na,、K,，會融進氧化膜中，造成元器件漏電,、造成低擊穿危害,。P、As,、Ab、Al等屬于硅片中的淺能級雜質(zhì),，有擴散作用,，可影響電子和空穴數(shù)量。隨著集成電路的集成度的日益提升超凈高純化學(xué)品中的金屬離子含量要求也越來越嚴格,。

在超凈高純化學(xué)品的制備和應(yīng)用過程中,，顆粒物的存在是一個不容忽視的問題。這些顆粒物可能來源于原料,、生產(chǎn)環(huán)境或處理過程中的污染,。它們不僅會損害集成電路的成品率和可靠性，還可能影響電子元器件的電性能和穩(wěn)定性,。

目前國內(nèi)外制備超凈高純試劑的常用技術(shù)主要有：蒸餾,、精餾、樹脂交換,、重結(jié)晶,、化學(xué)處理、膜處理等技術(shù),。膜處理技術(shù)是物理分離過程,，無需加熱和無需添加任何化學(xué)試劑，是去除微量金屬離子雜質(zhì)的有效方式,。國初科技根據(jù)多年的膜技術(shù)應(yīng)用經(jīng)驗,，開發(fā)了一種脫除超凈高純化學(xué)品中金屬離子工藝，可實現(xiàn)金屬離子＜50ppt,。

除金屬離子外,，超凈高純化學(xué)品的顆粒控制同樣關(guān)鍵,。國初科技針對超純化學(xué)品特性,，采用高精度除顆粒超濾膜組件（精度可達5nm），有效去除≥0.2μm顆粒,，滿足SEMI Grade 4/5標準要求,。  

工藝流程：

為避免接觸部件的溶出物污染,，工藝流程中與超凈高純化學(xué)品接觸部件均需采用高純材質(zhì)。一級膜組件可將金屬離子雜質(zhì)含量降低至ppb級別,，二級膜組件可將金屬離子雜質(zhì)含量降低至ppt級別,，三級膜組件為終端過濾確保溶劑無顆粒，精度可達5nm,。同時也有助于脫氣泡,，提高化學(xué)品的穩(wěn)定性。本工藝對K,、Na,、Ca、Cu,、Fe,、Mg等金屬雜質(zhì)都有較好的去除效果。

與傳統(tǒng)蒸餾工藝比,，本工藝的裝置占地面積小,，操作非常容易，系統(tǒng)密封,，能耗低,，環(huán)境友好。不僅可以用在超凈高純化學(xué)品生產(chǎn),，在半導(dǎo)體制程上其他高純試劑的純化應(yīng)用,，如樹脂、聚合物等光刻化學(xué)產(chǎn)品,，還可以實現(xiàn)金屬離子ppb-ppt級脫除,，還可同步完成顆粒控制,，顯著提升超純化學(xué)品的綜合品質(zhì),。

除金屬離子外，超凈高純化學(xué)品的顆?？刂婆c氣泡脫除同樣關(guān)鍵,。國初科技針對超純化學(xué)品特性，還可提供化學(xué)品溶液脫氣膜技術(shù),。在使用化學(xué)品溶液的工藝流程中快速去除液體中的氣泡或溶解氣體（如O?,、CO?），避免氣泡對光刻,、蝕刻等工藝的干擾,。  

該技術(shù)已大量應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻膠、電子級溶劑等產(chǎn)品的純化,，確?；瘜W(xué)品在傳輸與使用過程中無顆粒,、無氣泡，提升工藝穩(wěn)定性,。

國初科技（廈門）有限公司自成立以來,，以膜分離技術(shù)為核心，致力于新型分離技術(shù)推廣,，不斷探索新型膜分離技術(shù)在微電子,、冶金、化工,、機械,、食品、乳品,、飲料,、環(huán)境等領(lǐng)域的新應(yīng)用，根據(jù)不同客戶的高度差異化需求,，提供針對性的過濾及純化綜合解決方案，提高產(chǎn)品的品質(zhì),，滿足客戶的需求,。