NITTOSEIKO日東精工 (原 三菱化學(xué))
表面電阻率測試儀
應(yīng)用行業(yè):用于液晶半導(dǎo)體、材料研究院等行業(yè),。
四點(diǎn)探針法是將四個針狀電極[圖3.3.2 四點(diǎn)探針]沿直線放置在樣品上,,如圖[圖3.3.1 使用四點(diǎn)探針測量]所示。
在兩個外探針(A和D)之間流過恒定電流,,測量兩個內(nèi)探針(B和C)之間產(chǎn)生的電位差以求出電阻,。
接下來,通過將獲得的電阻(R,,單位:Ω)乘以樣品厚度t(cm)和校正因子RCF(電阻率校正因子)來計算體積電阻率,。
這樣,四探針法和四探針法共用相同的測量系統(tǒng),,僅與樣品接觸的電極部分不同,。
只需將四探針法的探針(四探針電極)壓在樣品上即可進(jìn)行測量,與之前的四探針法相比,,
無需在樣品上形成電極,,大大提高了工作效率。
[表3.3 四探針法與四探針法的比較] 四探針法產(chǎn)生的電場圖像如[圖3.3.3 四探針探針產(chǎn)生的電場]所示,。
相關(guān)產(chǎn)品
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