陶瓷具有高彈性,、抗腐蝕、抗磨損,、抗沖擊和震動(dòng)的功能,。陶瓷的熱穩(wěn)定性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)－40℃～135℃，而且具有測(cè)量的高精度,、高穩(wěn)定性,。電器絕緣程度大于2KV，輸出信號(hào)強(qiáng),，長期穩(wěn)定性好,。高特性、低價(jià)格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發(fā)展方向,，在歐美國家有全面替代其他類型傳感器的趨勢(shì),，在中國越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴(kuò)散硅壓力傳感器。

    抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,、室膜片的表面，使膜片產(chǎn)生微小的形變,，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,，連接成一個(gè)惠斯通電橋，由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),，使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性,，與激勵(lì)電壓成正比的電壓信號(hào)，標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0,、3.0,、3.3MV等，可以和應(yīng)變式傳感器相兼容,。通過激光標(biāo)定,，傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性，傳感器自帶溫度補(bǔ)償0℃～70℃，并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸,。

    陶瓷厚膜結(jié)構(gòu)與力敏Z－元件的優(yōu)勢(shì)互補(bǔ),。厚膜壓力傳感器是繼擴(kuò)散硅壓力傳感器之后壓力傳感器的又一次重大的技術(shù)創(chuàng)新，而力敏Z－元件是目前國內(nèi)外wei一具有數(shù)字信號(hào)輸出的敏感元件,，因此陶瓷厚膜工藝與力敏Z－元件的簡單電路的巧妙結(jié)合,，可以出現(xiàn)一種性能優(yōu)異、成本低廉的新型壓力傳感器,。具體來說,，陶瓷厚膜工藝有下述優(yōu)點(diǎn)。陶瓷彈性體性能優(yōu)良,，平整,、均勻、質(zhì)密的材料在程度范圍內(nèi)都嚴(yán)格遵循虎克定律,，無塑性變形,。厚膜電阻（包括高溫導(dǎo)線）能與陶瓷彈性膜片牢固地?zé)Y(jié)在一起，不需用膠進(jìn)行粘貼,。這種剛性結(jié)構(gòu)蠕變小,，漂移小，靜態(tài)性能穩(wěn)定,，動(dòng)態(tài)性能好,。厚膜彈性體結(jié)構(gòu)簡單，易于制備,。它與擴(kuò)散硅壓力傳感器相比,，不需半導(dǎo)體平面工藝來形成擴(kuò)散電阻彈性膜片，大幅度減小了生產(chǎn)線的前期投入和工藝加工成本,。陶瓷厚膜結(jié)構(gòu)耐液體或氣體介質(zhì)的腐蝕,，不需通過不銹鋼膜片和硅油的轉(zhuǎn)換與隔離，封裝結(jié)構(gòu)簡化,，進(jìn)一步降低成本,。工作量程寬。量程決定于膜片的有效半徑與厚度之比,，只要微壓力不小于1KPA,，原則上較高的量程也易于實(shí)現(xiàn)。工作溫度范圍寬,，可達(dá)－40℃～120℃,。

    陶瓷厚膜力數(shù)字壓力傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。陶瓷厚膜力數(shù)字壓力傳感器主要由瓷環(huán),、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三部分組成,。陶瓷膜片作為感力彈性體,，采用95％的AL2O3瓷精加工而成，要求平整,、均勻,、質(zhì)密，其厚度與有效半徑視設(shè)計(jì)量程而定,。瓷環(huán)采用熱壓鑄工藝高溫?zé)瞥尚?。陶瓷膜片與瓷環(huán)之間采用高溫玻璃漿料，通過厚膜印刷,、熱燒成技術(shù)燒制在一起,，形成周邊固支的感力杯狀彈性體，即在陶瓷的周邊固支部分應(yīng)形成無蠕變的剛性結(jié)構(gòu),。在陶瓷膜片上表面,，即瓷杯底部，用厚膜工藝技術(shù)做成傳感器的電路,。陶瓷蓋板下部的圓形凹槽使蓋板與膜片之間形成一定間隙，通過限位可防止膜片過載時(shí)因過度彎曲而破裂,，形成對(duì)傳感器的抗過載保護(hù),。