近日，Quantum Design中國正式引進(jìn)國際前沿?zé)岱治鲈O(shè)備InFocus κ FDTR頻域熱反射顯微鏡,，tianbule國內(nèi)亞微米級熱導(dǎo)率測量技術(shù)長期存在的部分空白,，為半導(dǎo)體、新能源,、復(fù)合材料等領(lǐng)域的研發(fā)與質(zhì)量控制提供全新解決方案,。

圖1 InFocus κ FDTR頻域熱反射顯微鏡

技術(shù)優(yōu)勢：亞微米級熱導(dǎo)率測量的“顯微鏡”

InFocus κ FDTR由科學(xué)儀器領(lǐng)域的著名企業(yè)ScienceEdge研發(fā),，基于創(chuàng)新性頻域熱反射技術(shù)（FDTR），通過非接觸式激光掃描實(shí)現(xiàn)材料熱學(xué)性質(zhì)的高分辨率檢測,，以四大核心優(yōu)勢成為技術(shù)破局者：

微尺度熱導(dǎo)率精確測量：無論是薄膜,、微粒（如18 μm單晶氧化鋁顆粒）還是各向異性材料（如La?Ca?Cu?O??單晶），它都能準(zhǔn)確測量材料的熱導(dǎo)率,。

熱邊界傳導(dǎo)量化：精準(zhǔn)測定深層界面熱傳導(dǎo)性能,，例如比較物理氣相沉積（PVD）與濺射法制備的金薄膜界面?zhèn)鲗?dǎo)差異（TBC分別為138.0 MW/m2·K與306.5 MW/m2·K）。

三維熱擴(kuò)散建模：通過激光掃描與光束偏移技術(shù),，同步分析面內(nèi)與面外熱導(dǎo)率,，揭示材料各向異性特性。

高效數(shù)據(jù)采集：單次相位曲線測量僅需10分鐘,，支持從低頻到高頻（10 kHz–100 kHz）的寬頻段掃描,。

精準(zhǔn)光斑控制：ScienceEdge使用teyou的激光掃描光學(xué)系統(tǒng),，只需在軟件的顯微鏡圖像上任意點(diǎn)擊，就可以立即改變探測光束的位置,。照射到樣品表面的入射光保持垂直,，無需擔(dān)心斑點(diǎn)形狀失真。

應(yīng)用場景：破解產(chǎn)業(yè)技術(shù)瓶頸

InFocus κ FDTR的引入將直接服務(wù)于國內(nèi)多個前沿領(lǐng)域：

半導(dǎo)體行業(yè)：芯片熱失效分析,、封裝材料界面熱阻評估,。

新能源領(lǐng)域：鋰電池隔膜、固態(tài)電解質(zhì)熱穩(wěn)定性檢測,。

復(fù)合材料研發(fā)：散熱填料性能優(yōu)化,、纖維增強(qiáng)材料導(dǎo)熱路徑設(shè)計。

應(yīng)用案例

薄膜材料分析：對四種不同Sn含量的非晶GeSn薄膜（厚度約100 nm）的測試表明,，熱導(dǎo)率隨錫含量增加而下降（0.44–0.55 W/m·K）,。

圖2 不同Sn含量的非晶GeSn薄膜熱導(dǎo)率測量結(jié)果

界面熱導(dǎo)（Thermal boundary conductance）測量：PVD方法制備的換能器TBC值為138.0 MW/m2·K,，而濺射法制備的換能器TBC值提升至306.5 MW/m2·K,，約為前者的兩倍。

圖3 不同方法制備的換能器（Transducer）界面熱導(dǎo)率的差別

顆粒測量：下圖展示了一個評估粒徑為18 μm的單晶氧化鋁顆粒熱導(dǎo)率的案例研究。由于這些顆粒具有粗糙的多面體結(jié)構(gòu),，因此需要仔細(xì)挑選具有平坦表面的顆粒,，并將激光聚焦于平坦表面中心以獲得鏡面反射信號,。擬合結(jié)果表明,，該顆粒的熱導(dǎo)率與塊狀氧化鋁相當(dāng)。

圖4 單晶氧化鋁顆粒的熱導(dǎo)率測量結(jié)果

InFocus K FDTR將推動材料科學(xué)、半導(dǎo)體封裝及熱管理技術(shù)的革新,。其微米級分辨率和快速分析能力,，為研發(fā)與質(zhì)量控制提供了突破性的工具。