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菲希爾X射線測厚儀 XDL240 是一款德國菲希爾公司生產(chǎn)的 x 射線熒光測厚儀,，以下從其測量原理,、硬件性能、軟件與數(shù)據(jù)處理,、應(yīng)用領(lǐng)域等方面進行介紹：
測量原理：運用 X 射線熒光光譜法,，通過測量樣品受激發(fā)后發(fā)出的 X 射線熒光強度和能量，來確定鍍層的厚度和成分,。該方法采用無損檢測方式,，具備自動聚焦功能，可保障樣品完整性與測量準確性2,。
硬件性能2
移動平臺：配備動 X/Y 平臺,，移動范圍≥95x150mm，可用工作臺面≥420x450mm,，能滿足多樣品放置與測量需求,；當保護門開啟時,，工作臺會自動移到放置樣品的位置，方便操作,。
電動 Z 軸：電動 Z 軸支持手動 / 自動聚焦,，移動范圍≥140mm，可適配不同高度的樣品,，確保測量時樣品處于最佳位置,。
DCM 技術(shù)：采用測量距離補償法(DCM)，可實現(xiàn) 80mm 深度的腔體樣品遠距離對焦測量,，有效解決了深腔樣品測量難題,。
高壓調(diào)節(jié)：可變高壓支持 30KV、40KV,、50KV 三檔調(diào)節(jié),，可根據(jù)不同的測試樣品和場景，靈活選擇合適的高壓,，以獲得最佳的測量結(jié)果,。
準直器：標配 φ0.3 的圓形準直器，可提升測量精度,，同時還有 φ0.1mm,、φ0.2mm 及長方形 0.3mmx0.05mm 等多種準直器可供選擇，滿足不同測量需求,。
X 射線探測器：采用比例接收器,，能夠穩(wěn)定接收信號，確保測量數(shù)據(jù)的準確性和可靠性,。
攝像頭：內(nèi)置高分辨率 CCD 攝像頭,，放大倍數(shù) 40-160 倍，便于樣品觀察定位,，沿初級 X 射線光束方向觀察測量位置,；配備手動聚焦、十字線(帶有經(jīng)過校準的刻度和測量點尺寸)以及可調(diào)節(jié)亮度的 LED 照明,，還有激光光點用于準確定位樣品,，方便操作人員快速、準確地放置和定位樣品,。
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