sccm
(standard cubic centimeters per minute )
立方厘米每分鐘,,小流量
1 sccm = 1 cm3/min(在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下)
SLM (standard liters per minute)
升每分鐘,,大流量
1SLM =1000 sccm(在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下)
疑問:這兩個本質(zhì)上都是體積流量,為什么是質(zhì)量流量的單位呢,?
解答:體積流量 × 標(biāo)準(zhǔn)密度 = 質(zhì)量流量
(在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下,,它們可以間接反映質(zhì)量流量。)
舉例:
氮氣在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為約 1.25 g/L:
1 SLM = 1 L/min =1.25 g/min
100 sccm = 0.1 L/min = 0.125 g/min
愛拓利精準(zhǔn)流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成,??偛刻K州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年,,位于無錫新吳區(qū)清源路20號大學(xué)科技園,。愛拓利精準(zhǔn)流量測控AITOLY INSTRUMENTS,專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測量與控制,。愛拓利擁有自己的研發(fā)團(tuán)隊,,具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計、結(jié)構(gòu),、硬件和軟件等研發(fā)能力,,是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè),,更是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計及流量控制器核心部件(高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥)的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛拓利質(zhì)量流量計及控制器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光伏,、真空鍍膜、生命科學(xué),、燃料電池,、精度分析儀器、石化,、制氣,、醫(yī)療、食品,、工業(yè)自動化控制等行業(yè),。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時,愛拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì),。愛拓利有一套嚴(yán)謹(jǐn)科學(xué)的檢測標(biāo)準(zhǔn)和質(zhì)量控制體系,,并通過了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。通過標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn),,規(guī)范化管理,,愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā),、生產(chǎn)和應(yīng)用經(jīng)驗積淀,,愛拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計和控制器。支持多種通訊協(xié)議,,氣體種類覆蓋面廣,、控制及測量精度高、響應(yīng)速度快,、性能穩(wěn)定,。
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