在半導(dǎo)體制造過程中，靜電是一個(gè)需要嚴(yán)格控制的因素,，因?yàn)榧词故俏⑿〉撵o電放電也可能損壞敏感的電子元件或?qū)е聣m埃粒子吸附在晶圓表面,，從而影響產(chǎn)品的成品率和可靠性。

在整個(gè)半導(dǎo)體制造過程中都會產(chǎn)生靜電荷,，主要由不同材料的接觸和分離引起,。靜電荷通過三種方式影響生產(chǎn)率和良率，靜電荷會靜電吸引（ESA）空氣中的顆粒,，從而導(dǎo)致晶圓和光罩的潛在良率損失,。

日本SIMCO思美高產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在靜電控制和除靜電設(shè)備方面，以減少生產(chǎn)中的靜電和微粒對半導(dǎo)體制造過程的影響,。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設(shè)備,、離子棒和離子風(fēng)機(jī)等設(shè)備通過電暈放電產(chǎn)生正負(fù)離子，中和空氣和工作表面的靜電荷,，從而減少靜電吸附和放電對半導(dǎo)體制造過程的影響,。

靜電測試儀    

FMX-004 靜電測試儀

FMX-004靜電測試儀是一款緊湊型靜靜電測試儀，用于定位和測量靜電荷,，其袖珍尺寸和三鍵操作使其使用方便快捷,。

特點(diǎn)：

輕巧、緊湊的設(shè)計(jì)

測距燈確保測量準(zhǔn)確且可重復(fù)

自動量程切換可達(dá) ±30 kV (30,000V),，距離為 1"

帶有 +/- 指示器的數(shù)字和條形圖顯示

不活動時(shí)自動關(guān)機(jī)

FMX-004還提供用于模擬輸出的可選電纜和支架套件,，此功能允許在使用過程中可提取和監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)。模擬輸出支架可安裝現(xiàn)場儀表,，以便連續(xù)采集讀數(shù),。模擬信號可與 PLC、數(shù)據(jù)采集卡,、數(shù)據(jù)記錄器,、圖表讀取器等設(shè)備配合使用。