IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動泵：精密制造領(lǐng)域的流體控制革新者,！

IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動泵是專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計的高精度流體輸送設(shè)備，憑借其耐腐蝕性,、高精度控制,、無污染設(shè)計及高效能特性，在化學(xué)液體供藥,、清洗和CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）制程中表現(xiàn)出色,，成為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的重要工具。本文將從技術(shù)特點,、應(yīng)用場景及優(yōu)勢三個方面展開分析：

一,、核心技術(shù)突破：從材料到結(jié)構(gòu)的全面創(chuàng)新

1、無金屬污染設(shè)計：氟樹脂材料的應(yīng)用

易威奇半導(dǎo)體氣動泵的核心過流部件采用PTFE（聚四氟乙烯）與PFA（全氟烷氧基樹脂）材質(zhì),，實現(xiàn)從泵體到閥門的全氟化設(shè)計,。這種材料組合不僅耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿腐蝕,，更通過無金屬接觸設(shè)計，將顆粒物產(chǎn)生率降低至行業(yè)的0.1μm以下,。例如,，F(xiàn)S系列泵在180℃高溫下仍能保持化學(xué)穩(wěn)定性，適用于氫氟酸,、硫酸等高?；瘜W(xué)品的輸送。

2,、高速沖程與低脈動控制

FS系列泵的沖程速度可達(dá)240次/分鐘（spm）,，較傳統(tǒng)泵提升30%效率。其內(nèi)置傳感器驅(qū)動系統(tǒng)通過電磁閥精準(zhǔn)控制沖程長度與頻率,，將脈動寬度壓縮至0.06MPa以下。這一特性在CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）制程中尤為關(guān)鍵,，可避免因流量波動導(dǎo)致的晶圓表面劃痕,。

3、模塊化維護(hù)與智能控制

泵體采用快拆式結(jié)構(gòu)設(shè)計,，更換開關(guān)無需拆卸管路或螺栓,，停機(jī)時間縮短至15分鐘以內(nèi)。內(nèi)置式傳感器支持PWM信號輸入,，可與PLC或DCS系統(tǒng)無縫對接,，實現(xiàn)流量遠(yuǎn)程監(jiān)控與自適應(yīng)調(diào)節(jié)。

4,、寬溫度范圍與高壓能力

液體輸送溫度范圍可達(dá)5°C至180°C,，吐出壓力高達(dá)45MPa，能夠適應(yīng)多種工藝條件,，包括高溫清洗和高壓供藥,。

二、行業(yè)應(yīng)用：從晶圓清洗到化學(xué)品供藥的全場景覆蓋

1,、晶圓清洗與蝕刻：在半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備中,，易威奇氣動泵需輸送高純度化學(xué)品（如SC1、SC2溶液）并精確控制流量,。FS-N系列泵憑借0.7MPa的高壓輸出與5-60℃的寬溫域適應(yīng)性,，可滿足單片清洗設(shè)備對高流速、低殘留的要求,。其氟樹脂材質(zhì)避免了金屬離子析出,，確保晶圓表面潔凈度達(dá)到ISO Class 1標(biāo)準(zhǔn)。

2,、CMP制程的精密供藥：CMP工藝中,，拋光液的濃度與流量需精確至毫升級,。CFD系列泵以8mL/stroke的微小吐出量與0.05MPa的低壓設(shè)計，實現(xiàn)納米級拋光液的穩(wěn)定供給,。其低脈動特性可避免拋光墊表面液膜厚度波動,，提升晶圓全局平坦化效果。

3,、化學(xué)品供藥系統(tǒng)的安全保障：在光刻膠,、顯影液等高價值化學(xué)品的輸送中，PDS-H115系列泵以12mL/shot的精準(zhǔn)計量與1.0MPa的高壓輸出,，結(jié)合10,000mPa·s的高粘度適應(yīng)能力,，確保供藥系統(tǒng)的穩(wěn)定性。其IP66防護(hù)等級與防爆設(shè)計,，適用于光刻車間等高危環(huán)境,。

三、為何選擇IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動泵,？

1. 高可靠性：IWAKI易威奇作為流體控制設(shè)備制造商,，其產(chǎn)品經(jīng)過嚴(yán)格測試，能夠在惡劣工況下長期穩(wěn)定運(yùn)行,。

2. 節(jié)能高效：氣動驅(qū)動方式無需電力,，降低能耗，同時減少電火花風(fēng)險,，適用于易燃易爆環(huán)境,。

3. 廣泛適用性：泵體可輸送低粘度至高粘度液體，滿足半導(dǎo)體制造中多種化學(xué)液體的輸送需求,。

4. 智能化控制：內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動系統(tǒng)控制電磁閥,，可輕松連接各種控制器，實現(xiàn)自動化生產(chǎn),。

選擇IWAKI易威奇,，就是選擇半導(dǎo)體制造的“隱形守護(hù)者”。

IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動泵以材料科學(xué),、流體動力學(xué)與智能控制的深度融合,，重新定義了半導(dǎo)體制造中的流體控制標(biāo)準(zhǔn)。從晶圓廠的無塵車間到化學(xué)品供藥系統(tǒng)的核心環(huán)節(jié),，其技術(shù)突破不僅提升了生產(chǎn)效率與良率,，更推動了行業(yè)向智能化、綠色化方向演進(jìn),。未來,，隨著AI與物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的進(jìn)一步滲透，易威奇將持續(xù)推動半導(dǎo)體流體控制領(lǐng)域的創(chuàng)新浪潮,。