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水浸超聲顯微鏡 (SAM)是一種利用超聲波在液體中傳播的特性,，對材料內(nèi)部結構進行高分辨率成像的無損檢測設備,。它廣泛應用于需要無損檢測、內(nèi)部缺陷分析或微觀結構觀察的場景,，特別是在半導體與電子行業(yè),、材料科學與研發(fā)、汽車與航空航天制造等領域有著重要的應用,。
水浸超聲顯微鏡通過超聲探頭發(fā)射超聲波束,，經(jīng)過液體耦合介質(zhì)(通常為水)抵達工件上表面，形成上表面反射波,。超聲波束穿過工件時,，遇到材料內(nèi)部的缺陷(如裂紋、縫隙,、空洞等)會形成不同的反射波與折射波,。通過收集這些波并進行分析，可以得到材料內(nèi)部的超聲強度圖像,，從而準確判斷缺陷的位置,、面積和占比等數(shù)據(jù)。
水浸超聲顯微鏡的主要配置包括工業(yè)電腦,、采集分析軟件,、超聲換能器(探頭),、工控機、水循環(huán)系統(tǒng),、不銹鋼框架結構及運動模組等,。其中，超聲換能器是決定超聲波頻率的關鍵器件,，其頻率范圍一般在10MHZ至2000MHZ之間,。
應用場景
半導體與電子行業(yè)：用于芯片封裝檢測、晶圓檢測和電子元器件失效分析,。例如,，檢測芯片與基板間的焊接質(zhì)量、晶圓鍵合質(zhì)量評估,、電容,、電阻等被動元件的內(nèi)部裂紋檢測等。
材料科學與研發(fā)：用于復合材料檢測,、金屬與合金檢測以及納米材料與薄膜分析,。例如，檢測碳纖維增強聚合物的分層,、金屬焊接接頭的內(nèi)部缺陷,、納米涂層厚度測量等。
汽車與航空航天制造：用于汽車零部件檢測和航空航天結構件檢測,。例如,，檢測發(fā)動機缸體/缸蓋的鑄造缺陷、飛機渦輪葉片的冷卻孔堵塞,、復合材料機翼的沖擊損傷等,。
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