膜厚測試儀

膜厚測試儀,，分為手持式和臺式二種,，手持式又有磁感應鍍層測厚儀,，電渦流鍍層測厚儀,，熒光X射線儀鍍層測厚儀。

手持式的磁感應原理時,，利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,，來測定覆層厚度。

也可以測定與之對應的磁阻的大小,，來表示其覆層厚度,。

臺式的熒光X射線膜厚測試儀，是通過一次X射線穿透金屬元素樣品時·產生低能量的光子,，俗稱為二次熒光,，

在通過計算二次熒光的能量來計算厚度值。

采用磁感應原理時,，利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,，來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小,，

來表示其覆層厚度,。覆層越厚，則磁阻越大,，磁通越小,。

利用磁感應原理的測厚儀，原則上可以有導磁基體上的非導磁覆層厚度。一般要求基材導磁率在500以上,。如果覆層材料也有磁性,，

則要求與基材的導磁率之差足夠大（如鋼上鍍鎳）。當軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時,，儀器自動輸出測試電流或測試信號,。

早期的產品采用指針式表頭，測量感應電動勢的大小,，儀器將該信號放大后來指示覆層厚度,。電路設計引入穩(wěn)頻、鎖相,、溫度補償?shù)鹊匦录夹g,，

利用磁阻來調制測量信號。還采用集成電路,，引入微機,，使測量精度和重現(xiàn)性有了大幅度的提高（幾乎達一個數(shù)量級）。

現(xiàn)代的磁感應測厚儀,，分辨率達到0.1um,，允許誤差達1%，量程達10mm,。