第一支溫度傳感器于1978年由薩修耳發(fā)明,，人們對(duì)于濕敏器件的認(rèn)識(shí)于1938年，美國(guó)人F.W.Dummore成功研究lv化鉀濕敏元件,。由于濕敏元件在測(cè)量濕度時(shí)，需暴露在待測(cè)環(huán)境中,，很容易腐蝕,，老化，從而喪失應(yīng)有的性能,。直至現(xiàn)在,，都難以制作長(zhǎng)期穩(wěn)定的濕敏元件。人們對(duì)濕度的表示方法有：絕對(duì)濕度,、相對(duì)濕度,、露點(diǎn)濕度等等。絕對(duì)濕度指單位面積里水氣的質(zhì)量,；相對(duì)濕度指待測(cè)空氣中水氣壓與同溫下水的飽和水氣壓的百分比值,；露點(diǎn)指空氣中的水汽凝結(jié)為露珠時(shí)的溫度。濕度傳感器的主要參數(shù)有:濕度量程,、靈敏度,、濕度系數(shù)、響應(yīng)時(shí)間扽等,，在此解釋一下濕度系數(shù)的概念,。濕度系數(shù)是濕度與溫度的相關(guān)關(guān)系，也就做濕度溫度系數(shù),，指的是元件感濕曲線隨溫度變化的特性參數(shù),。參數(shù)值越大，說(shuō)明由感濕特征量表示的環(huán)境相對(duì)濕度與實(shí)際濕度的誤差越大,。    濕度傳感器按濕度敏感元件分有電解質(zhì)型,、半導(dǎo)體及陶瓷型、有機(jī)物與高分子聚合物型等,。電解質(zhì)型濕度傳感器有無(wú)機(jī)電解質(zhì)濕度傳感器,、高分子電解質(zhì)濕度傳感器,、有機(jī)季銨鹽高分子電解質(zhì)濕度傳感器和聚苯乙烯磺酸銨濕度傳感器。半導(dǎo)體陶瓷濕度傳感器主要按制作工藝分,，它是濕度傳感器中最大一類,。主要有涂覆膜型、燒結(jié)體型,、厚膜型,、薄膜型和MOS型。隨著化工技術(shù)的發(fā)展,，有機(jī)物及高分子聚合物濕度傳感器也逐步完善,，應(yīng)用越來(lái)越多。主要感濕器件有脹縮性有機(jī)物濕敏元件和高分子聚合物薄膜濕敏元件,。    濕度傳感器的應(yīng)用越來(lái)越多,，有應(yīng)用于軍事上的，有應(yīng)用于農(nóng)業(yè)上的,，還有氣象上的等等,。氣象觀測(cè)站可以采用耗電量很小的溫度傳感器，用蓄電池供電,，然后用無(wú)線傳輸?shù)綌?shù)據(jù)中心,，平時(shí)基本上不用維護(hù)。農(nóng)業(yè)上比如倉(cāng)庫(kù)管理,，通過(guò)測(cè)量濕度,，然后把數(shù)據(jù)給控制系統(tǒng)，當(dāng)濕度高于某一值時(shí),，啟動(dòng)自動(dòng)去濕裝置,。