【SIMCO思美高】適用于半導(dǎo)體前后端處理的ESD靜電控制解決方案

工業(yè)知識(shí)堂

電動(dòng)螺絲刀,，別名電批,、電動(dòng)起子，是用于擰緊和旋松螺釘用的電動(dòng)工具,。該電動(dòng)工具裝有調(diào)節(jié)和限制扭矩的機(jī)構(gòu),，主要用于裝配線，是大部分生產(chǎn)企業(yè)的工具之一,。

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,，靜電是一個(gè)需要嚴(yán)格控制的因素，因?yàn)榧词故俏⑿〉撵o電放電也可能損壞敏感的電子元件或?qū)е聣m埃粒子吸附在晶圓表面,，從而影響產(chǎn)品的成品率和可靠性,。

在整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生靜電荷，主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過(guò)三種方式影響生產(chǎn)率和良率,，靜電荷會(huì)靜電吸引（ESA）空氣中的顆粒,，從而導(dǎo)致晶圓和光罩的潛在良率損失。

日本SIMCO思美高產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在靜電控制和除靜電設(shè)備方面,，以減少生產(chǎn)中的靜電和微粒對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響,。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設(shè)備、離子棒和離子風(fēng)機(jī)等設(shè)備通過(guò)電暈放電產(chǎn)生正負(fù)離子,，中和空氣和工作表面的靜電荷,，從而減少靜電吸附和放電對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響,。

產(chǎn)品介紹

1. 離子風(fēng)機(jī)

   
   

   
   

   ostat XC2靜電除塵風(fēng)機(jī)

   
   

Aerostat XC2靜電除塵風(fēng)機(jī)

提供全面的大面積電離保護(hù),，其設(shè)計(jì)和制造旨在實(shí)現(xiàn)可靠、長(zhǎng)期的靜電控制,。其輕量化設(shè)計(jì)使 Aerostat XC2可以安裝在工作臺(tái)面上方,，這對(duì)于平板顯示器模塊組裝尤為有效。

特點(diǎn)：

輕量化設(shè)計(jì)

大面積,、近乎對(duì)稱(chēng)的電離區(qū)域覆蓋

±10V自平衡(“微脈沖”)技術(shù)

易于使用的內(nèi)置發(fā)射器清潔器

集成加熱器,，用于暖空氣流動(dòng)

Aerostat PC2臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)

Aerostat PC2臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)內(nèi)置發(fā)射點(diǎn)清潔器，結(jié)構(gòu)緊湊輕巧,，可為目標(biāo)微環(huán)境提供的電荷中和效果,，并可輕松安裝在工藝工具內(nèi)部。其風(fēng)速足夠,，可在臺(tái)式工作臺(tái)面上控制高達(dá)4 英尺(約 1.2 米)范圍內(nèi)的靜電,。

特點(diǎn)：

1英尺放電時(shí)間小于2.0 秒

輕巧、緊湊,、安靜,，使用時(shí)不會(huì)引人注目

本地警報(bào) LED、設(shè)施監(jiān)控系統(tǒng)(FMS)連接和可選聲音警報(bào)