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干式分子泵組是真空技術(shù)中的一種高1端配置,，專(zhuān)為要求更加潔凈,、無(wú)油污染的高真空/超高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì),。它通常由兩個(gè)核心部分組成：干式前級(jí)機(jī)械泵泵和分子泵,。這種組合完1全摒棄了傳統(tǒng)真空泵中的油或脂潤(rùn)滑,，從大氣壓到超高真空全程保持系統(tǒng)潔凈,，消除碳?xì)浠衔镂廴撅L(fēng)險(xiǎn)。
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,， 晶圓廠的核心工藝設(shè)備（刻蝕機(jī),、CVD、PVD,、ALD,、離子注入機(jī)）；高1端光學(xué)鍍膜： 激光反射鏡,、天文望遠(yuǎn)鏡鏡片,、光刻鏡頭鍍膜；表面科學(xué)與分析,；
掃描/透射電子顯微鏡 (SEM/TEM) 樣品室和電子槍等要求嚴(yán)苛的科研與材料開(kāi)發(fā),。
雖然初始成本高昂，但其潔凈度,、卓1越的真空性能,、極低的維護(hù)需求和長(zhǎng)壽命，使其在半導(dǎo)體,、尖1端科研和分析儀器等對(duì)真空環(huán)境要求近乎苛刻的領(lǐng)域成為不可替代的標(biāo)準(zhǔn)配置,。
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